Na lince pro flexibilní displeje není pečení fotoresistu okrajovým krokem. Je to kontrolní bod výtěžnosti.
Posun o 1°C při měkkém nebo tvrdém pečení posune kritický rozměr a přinese s sebou i tvorbu zbytků. Sušící lampa nesmí být dalším zdrojem variability. Musí být tepelnou konstantou.
Co skutečně záleží
Navrhli jsme sušící lampu pro flexibilní displeje kolem opakovatelného přenosu tepla. Halogenové zdroje vysílají krátkovlnnou energii na povrch, což umožňuje rychlé sušení vedené povrchem. Pokud zpracováváte silnější vrstvy nebo teplotně citlivé vrstvy, jsou k dispozici konfigurace se středním vlnovým pásmem a NIR.
Očekávejte uniformitu ±0,1°C na úrovni waferu v aktivní zóně a řízení nastavené hodnoty, které zůstává v rozmezí ±0,5°C i při kolísání napájecího napětí. Systém pracuje v čistých prostorách třídy 1–100 bez víření částic: uzavřené křemenné obálky, nízké emise z příslušenství a laminární proudění vzduchu udržující počet částic konstantní.
Výstup drží stabilitu do 2 % po více než 5 000 hodinách provozu. Modul lampy se přímo montuje do standardních rozhraní linek, s 24 V řízením a pevnými konektory.
Proč to funguje pro flexibilní displeje
Substráty flexibilních displejů jsou tenké, zakřivené a mají omezení z hlediska tepelné zátěže. Je potřeba pečení, které vysuší resist, aniž by deformovalo substrát nebo překročilo tepelný rozpočet.
Náš profil lampy zkracuje dobu nasáknutí a zároveň odstraňuje rozpouštědla, takže se zkracuje cyklus bez kompromisů na uniformitě. Méně opakovaných dávek. Méně odpadu. Výkon litografie zůstává předvídatelný.
A spotřeba energie je nižší, protože lampa rychle dosáhne nastavené hodnoty a udržuje ji bez kolísání.
Co je třeba naplánovat
Lampa funguje s většinou litografických linek, ale integrace závisí na optické apertuře nástroje, výfuku a umístění měření teploty.
Naplánujte krátký zkušební provoz pro doladění profilu na váš resist a substrát.
Jeden kompromis: vysoká hustota výkonu vyžaduje čistý zdroj energie. Pokles napětí nebo harmonické složky mohou způsobit drobné kolísání nastavené hodnoty, proto stabilní napájení patří na instalační kontrolní seznam.