En la línea de pantallas flexibles, el horneado del fotoresistente no es un paso de fondo. Es una puerta de rendimiento.
Un desplazamiento de 1°C en el horneado suave o duro desplazará la dimensión crítica y provocará scumming. La lámpara de secado no puede ser otra variable. Debe ser la constante térmica.
Lo que realmente importa
Construimos la lámpara de secado para pantallas flexibles en torno a la entrega repetible de calor. Las fuentes halógenas emiten energía de onda corta hacia la superficie, por lo que se obtiene un secado rápido liderado desde la superficie. Si se procesan películas más gruesas o pilas térmicamente sensibles, están disponibles configuraciones de onda media y NIR.
Se espera una uniformidad a nivel de oblea de ±0.1°C en la zona activa, y un control de setpoint que se mantiene dentro de ±0.5°C incluso cuando hay fluctuaciones en el voltaje de línea. El sistema opera en salas limpias Clase 1 a 100 sin agitar partículas: envolventes de cuarzo selladas, accesorios de baja emisión de gases y un flujo laminar de aire que mantiene constante el recuento de partículas.
La salida se mantiene dentro del 2% durante más de 5,000 horas. El módulo de la lámpara se integra directamente en interfaces estándar de track, con control a 24 V y opciones de conectores sólidos.
Por qué esto funciona para pantallas flexibles
Los sustratos para pantallas flexibles son delgados, curvos y tienen restricciones térmicas. Se necesita un horneado que seque el resist sin deformar el sustrato ni exceder el presupuesto térmico.
El perfil de nuestra lámpara reduce el tiempo de inmersión mientras sigue eliminando solventes, por lo que el tiempo de ciclo disminuye sin sacrificar la uniformidad. Menos lotes de retrabajo. Menos desperdicio. El rendimiento en litografía se mantiene predecible.
Y se consigue un menor consumo energético, porque la lámpara alcanza rápido el setpoint y lo mantiene sin fluctuaciones.
Lo que debe planificarse
La lámpara funciona con la mayoría de tracks de litografía, pero la integración depende de la apertura óptica de la herramienta, el sistema de extracción y el lugar donde se mide la temperatura.
Planifique una corrida corta de puesta en marcha para ajustar el perfil a su pila de resist y sustrato.
Una consideración: la alta densidad de potencia requiere alimentación limpia. Caídas de voltaje o armónicos pueden introducir pequeñas oscilaciones en el setpoint, por lo que una fuente estable debe estar en la lista de verificación de instalación.