در محیط تولید، نمیتوان فرآیند ashing را مانند یک جعبه سیاه در نظر گرفت. باقیماندههای photoresist پس از stripping موجب کاهش راندمان تولید میشود و اگر پروفایل حرارتی پایدار نباشد، ممکن است کل یک دسته تولید را از دست بدهید. ashing با مادون قرمز همراه با سیستم گرمایش مهندسی شده، یک بودجه حرارتی قابل تکرار را در هر بار پردازش فراهم میکند.
از نظر فنی چه نکاتی اهمیت دارد
ما مستقیماً با فرستندههای موج کوتاه مادون قرمز به photoresist حرارت میدهیم—گرمای سریع و کوپلشده که وارد رزین میشود و نه حامل آن. این روش کنترل جبهه ashing را ممکن میسازد و یکنواختی در سطح wafer را در دامنه ±0.1°C حفظ میکند. این ابزار برای Cleanroom Class 1–100 طراحی شده است: یک مجموعه آببندی شده با حداقل گازدهی و مسیر حرارتی که عاری از ذرات باقی میماند.
تولید صفر ذره صرفاً یک شعار نیست. این موضوع با انتخاب مواد مناسب، مونتاژ تمیز و طراحیای که از جریان هوای آشفته جلوگیری میکند، تحقق مییابد. سیستم همچنین دمای bake رزین را در طول پروفایلهای soft bake و hard bake به دقت کنترل میکند و تکرارپذیری آن از دستهای به دسته دیگر حفظ میشود.
چرا این روش در عمل کارآمد است
در خطوط لیتوگرافی و بستهبندی، ashing باید با ابزارهای cluster هماهنگ باشد و از انحراف جلوگیری کند. گرمایش مادون قرمز سریع افزایش مییابد و سپس ثابت نگه داشته میشود، بنابراین نرخ stripping ثابت میماند و میزان باقیمانده پس از ashing مطابق مشخصات باقی میماند. مصرف انرژی کاهش مییابد زیرا گرما بهصورت درخواستی تأمین میشود—بدون هزینه زمان انتظار برای گرم شدن.
همچنین زمان توقفهای ناخواسته کاهش مییابد. فرستندهها عمر مفید مناسبی دارند و معماری مدولار اجازه تعویض ماژولها را در زمان تعمیرات برنامهریزیشده میدهد، نه در حین عملیات حیاتی.
آنچه باید بدانید
ash-ing با مادون قرمز نیازمند تراز نوری دقیق و یک محفظه تمیز با سطح بازتابنده است. به دلیل محدودیتهای مکانیکی، محیط نصب کوچکتر از سیستمهای کانوکشن است، بنابراین قبل از نصب ابعاد ابزار و امکان دسترسی برای سرویس را بررسی کنید. همچنین لازم است طیف فرستندهها با ساختار رزین و زیرلایه هماهنگ شود؛ در غیر این صورت ریسک حرارتدیده شدن غشاءهای حساس وجود دارد.
پس از تنظیم دقیق، پنجره فرآیندی به اندازه کافی گسترده است تا بتوان عملیات را بهصورت 24/7 با نتایج پایدار انجام داد.