در خط نمایشگر انعطافپذیر، پخت فوتورزیست یک مرحله پسزمینه نیست. این مرحله یک دروازه کنترل بازده است.
انحراف ۱ درجه سانتیگراد در پخت نرم یا پخت سخت باعث تغییر ابعاد بحرانی و ایجاد اسکمینگ میشود. چراغ خشککن نباید متغیر دیگری باشد. باید ثابت حرارتی باشد.
آنچه واقعاً اهمیت دارد
چراغ خشککن نمایشگر انعطافپذیر را حول تحویل حرارت قابل تکرار ساختیم. منابع هالوژن انرژی کوتاهموج را به سطح میتابانند، بنابراین خشکشدن سریع و با محوریت سطح حاصل میشود. اگر در حال استفاده از فیلمهای ضخیمتر یا ساختارهای حساس به حرارت هستید، پیکربندیهای موج متوسط و NIR نیز در دسترس است.
انتظار یکنواختی ±۰.۱ درجه سانتیگراد در سطح ویفر در ناحیه فعال را داشته باشید و کنترل نقطه تنظیم که حتی در نوسانات ولتاژ خط، در محدوده ±۰.۵ درجه سانتیگراد باقی میماند. این سیستم در اتاقهای تمیز کلاس ۱–۱۰۰ بدون تولید ذرات کار میکند: محفظههای کوارتز مهر و مومشده، فیکسچرهای کم گازدهی و مسیر جریان هوای لمینار که تعداد ذرات را ثابت نگه میدارد.
خروجی در طول بیش از ۵۰۰۰ ساعت، در محدوده ۲٪ ثابت میماند. ماژول چراغ مستقیماً در رابطهای استاندارد ردیف قرار میگیرد، با کنترل ۲۴ V و گزینههای کانکتور محکم.
چرا این روش برای نمایشگر انعطافپذیر کارآمد است
زیرلایههای نمایشگر انعطافپذیر نازک، خمیده و محدود از نظر حرارتی هستند. نیاز به پختی دارید که رزیست را خشک کند بدون آنکه زیرلایه را دفرمه کند یا بودجه حرارتی را به هم بزند.
پروفایل چراغ ما زمان اشباع را کاهش میدهد در حالی که حلالها را پاک میکند، بنابراین زمان چرخه کاهش مییابد بدون اینکه یکنواختی فدا شود. تعداد دستههای بازکاری کمتر. ضایعات کمتر. عملکرد لیتوگرافی پیشبینیپذیر باقی میماند.
و مصرف انرژی کمتر است، چون چراغ سریع به نقطه تنظیم میرسد و بدون نوسان آن را حفظ میکند.
نکاتی که باید برای آن برنامهریزی کنید
چراغ با اکثر ردیفهای لیتوگرافی سازگار است، اما ادغام بستگی به دهانه اپتیکی ابزار، سیستم خروج هوا و محل خواندن دما دارد.
یک اجرای راهاندازی کوتاه برنامهریزی کنید تا پروفایل را با ساختار رزیست و زیرلایه خود تنظیم کنید.
یک نکته مهم: چگالی توان بالا نیازمند برق پاک است. افت ولتاژ یا هارمونیکها ممکن است باعث نوسان کوچک نقطه تنظیم شوند، بنابراین یک منبع تغذیه پایدار باید در چکلیست نصب قرار گیرد.