در کف کارخانه، زمانهای غیرمنتظره نیاز به بررسی بعد از مرگ ندارند—شما آن را در ویفرهای از دست رفته و پنجرههای مشخصاتی که به تازگی از دست دادهاید میبینید. وقتی که لامپ اتاق PVD خاموش میشود، کل بودجه حرارتی برای عملیات در حالت قرمز قرار میگیرد. ما این لامپ PVD را طراحی کردیم تا از بروز این وضعیت جلوگیری کنیم، و این لامپ بهصورت ۲۴ ساعته و ۷ روز هفته بدون کاهش کیفیت کار میکند.
آنچه از لحاظ فنی مهم است
این لامپ پاسخ حرارتی سریع و یکنواختی دقیق در سطح هدف را به ارمغان میآورد، بنابراین دما در حین مراحل پخت بحرانی در محدوده ±۰.۱°C باقی میماند. پروفیل مادون قرمز با طول موج کوتاه به سرعت دما را به سطح مورد نظر میرساند، تا تأخیر حرارتی کاهش یابد و شما بتوانید پروفیلهای نرمپخت و سختپخت فوتورزیست را به شیوهای که نیاز دارید تنظیم کنید.
مواد سازگار با اتاق تمیز و ساختار مهر و موم شده تولید ذرات را به صفر میرساند، بنابراین این لامپ به راحتی در محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ قرار میگیرد. طراحی فیلامنت با عمر طولانی و پوشش سخت کوارتز، فواصل خدمات را به دهها هزار ساعت میرساند، با تغییر خروجی زیر ۵٪ پس از ۵۰۰۰ ساعت.
چرا در PVD مؤثر است
در PVD، ثبات دمای زیرلایه بهطور مستقیم نرخ رسوبدهی، تنش فیلم و چسبندگی را تحت تأثیر قرار میدهد. این لامپ پروفیل حرارتی را بهصورت تکراری حفظ میکند، بار بعد از بار، که به معنای ضایعات و کار دوباره کمتر است. شما ضخامت فیلم یکنواخت، انرژی کمتر برای هر ویفر و تعویض لامپ کمتر را بهدست میآورید.
افزایش سریع دما زمان چرخه را کوتاه میکند بدون اینکه کنترل پروفیل را از دست بدهید، و خروجی پایدار شما را در داخل پنجرههای فرآیندی دقیق در چندین دستورالعمل نگه میدارد.
جزئیات عملی
نصب به مطابقت پایه لامپ و کانکتور با تجهیزات اتاق شما بستگی دارد، سپس تأیید سازگاری ولتاژ و خنکسازی. یک گرمکردن کوتاه برای رسیدن به تابش پایدار برنامهریزی کنید و پروفیلهای دستوری خود را حول آن برنامهریزی کنید.
خنککننده را تمیز و خشک نگهدارید و ولتاژ خط را پایدار نگهدارید. در طول کارهای طولانی، بازرسیهای نوری منظم را برای حفظ یکنواختی برنامهریزی کنید.