Comment maintenir une salle de classe 100 propre et stérile
Si vous travaillez dans un environnement de classe 100, vous connaissez bien les problèmes qui peuvent survenir : une seule particule de poussière ou une légère fuite de gaz suffit pour endommager vos wafers en silicium. C’est un véritable cauchemar. La plupart des chauffages standards ne sont pas conçus pour ce type d’environnement : ils libèrent des particules ou des gaz précisément au moment où cela est inacceptable.
C’est pourquoi nous avons choisi des lampes infrarouges en quartz synthétique de haute pureté pour nos chauffages destinés aux semi-conducteurs.
Pourquoi le quartz ?
Imaginez : les chauffages à revêtement métallique possèdent des pores qui retiennent la poussière. De plus, ils peuvent libérer des ions métalliques directement dans la zone de production. Le quartz, lui, est différent : il s’agit de silice fondue, ce qui signifie qu’il reste stable même à des températures extrêmement élevées. Il ne se dégrade pas et ne se détache pas non plus. De plus, comme il utilise des radiations infrarouges, la chaleur atteint directement l’objet à chauffer. Ainsi, l’air environnant n’est pas perturbé, et le flux laminaire reste bien en place.
Les détails techniques
Ces lampes sont conçues pour atteindre de hautes températures rapidement. Nous avons concentré beaucoup de puissance dans un espace restreint, afin que vos wafers restent à la bonne température tout au long du processus de traitement. On peut ajuster la puissance et la tension en fonction du système électrique déjà en place. Mais attention : ces lampes deviennent très chaudes. Assurez-vous donc que le boîtier protecteur soit suffisamment solide pour éviter que le châssis ne soit endommagé.
Installation
Nous avons utilisé des connecteurs standards, ce qui permet d’installer ces lampes facilement sans aucun problème. Les joints sont également hermétiques, ce qui évite toute fuite de vide ou l’entrée de particules. Une règle importante : ne touchez jamais le quartz avec des mains nues. Les huiles cutanées laissent des traces invisibles, ce qui crée des points chauds qui peuvent endommager prématurément les lampes. Utilisez des gants.
C’est un bon compromis : vous obtenez une pureté extrême et une réponse rapide, à condition de faire preuve de prudence lors de l’installation.