בקו התצוגה הגמישה, אפיית הפוטורזיסט אינה שלב רקע. זו שער ייצור. סטייה של 1°C באפיית רכה או אפיית קשה תשנה את הממדים הקריטיים ותגרום להצטברות שאריות. מנורת הייבוש לא יכולה להיות משתנה נוסף. היא חייבת להיות הקבוע התרמי.
מה שבאמת חשוב
בנינו את מנורת הייבוש לתצוגות גמישות סביב אספקת חום חוזרת ואחידה. מקורות הלוגן מפיצים אנרגיה בגל קצר על פני השטח, מה שמאפשר ייבוש מהיר שמונחה משטח. אם מפעילים שכבות עבות יותר או ערומות רגישות תרמית, קיימות תצורות בגל בינוני וב-NIR. צפו לאחידות ברמת המשטח של ±0.1°C באזור הפעיל, ושליטה על נקודת הסט השומרת על ±0.5°C גם בזמן תנודות במתח הקו. המערכת פועלת בחדרי נקיון Class 1–100 ללא ערבוב חלקיקים: מעטפות קוורץ אטומות, אביזרים בעלי פליטה נמוכה, וזרימת אוויר למינרית השומרת על ספירת חלקיקים יציבה. תפוקת המנורה נשמרת בתוך 2% לאורך מעל 5,000 שעות. מודול המנורה מתקין ישירות בממשקי מסילות סטנדרטיות, עם בקרה במתח 24 V ואפשרויות חיבור יציבות.
למה זה מתאים לתצוגה גמישה
תת-הסטרטים של תצוגות גמישות דקים, מעוקלים ומוגבלים תרמית. דרושה אפייה שמייבשת את הרזיסט מבלי לעוות את תת-הסטרט או לחרוג מתקציב החום. פרופיל המנורה שלנו מקצר את זמן הספיגה ועדיין מנקה ממיסים, כך שזמן המחזור מתקצר ללא פגיעה באחידות. פחות אצוות לתיקון. פחות פסולת. ביצועי הליתוגרפיה נשארים צפויים. וכן, יש חיסכון באנרגיה, כי המנורה מגיעה לנקודת הסט במהירות ושומרת עליה ללא תנודות.
מה צריך לתכנן
המנורה מתאימה לרוב מסילות הליתוגרפיה, אך האינטגרציה תלויה בקוטר האופטיקה של הכלי, במערכת הפליטה ובמיקום קריאת הטמפרטורה. תכננו ריצה קצרה להטמעת הפרופיל לפי ערום הרזיסט ותת-הסטרט שלכם. פשרה אחת: צפיפות הספק גבוהה דורשת אספקת חשמל נקייה. ירידת מתח או הרמוניות עלולות לגרום לרעידות קטנות בנקודת הסט, לכן יש לכלול אספקת חשמל יציבה ברשימת הבדיקות לפני ההתקנה.