फैब फ्लोर पर, ashing को एक ब्लैक बॉक्स की तरह नहीं देखा जा सकता। स्ट्रिपिंग के बाद बचा हुआ फोटोरेसिस्ट आपकी यील्ड को प्रभावित करता है, और यदि थर्मल प्रोफाइल स्थिर नहीं है, तो आप पूरी लॉट को खराब कर सकते हैं। इंजीनियर किए गए हीटिंग के साथ इन्फ्रारेड ashing आपको हर बार एक पुनरावृत्त थर्मल बजट प्रदान करता है।
तकनीकी दृष्टिकोण से महत्वपूर्ण क्या है
हम फोटोरेसिस्ट को सीधे शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटर्स से प्रभावित करते हैं — तेज, संबद्ध गर्मी जो रिसिस्ट में जाती है, न कि कैरियर में। इससे ashing फ्रंट नियंत्रण में रहता है और वेफर-स्तर की एकरूपता ±0.1°C के भीतर बनी रहती है। उपकरण Cleanroom Class 1–100 के लिए बनाया गया है: एक सील्ड, कम आउटगैसिंग असेंबलि और एक थर्मल पाथ जो पार्टिकल-फ्री रहता है।
शून्य पार्टिकल जनरेशन कोई टैगलाइन नहीं है। यह सामग्री चयन, साफ असेंबलि और ऐसे डिज़ाइन द्वारा सख्ती से लागू किया जाता है जो टरबुलेंट एयरफ्लो को रोकता है। सिस्टम आपके फोटोरेसिस्ट बेक तापमान को सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक प्रोफाइल दोनों में कड़ाई से नियंत्रित रखता है, और इसकी पुनरावृत्ति लॉट से लॉट तक स्थिर रहती है।
व्यवहारिक रूप से यह क्यों काम करता है
लिथोग्राफी और पैकेजिंग लाइनों में, ashing को क्लस्टर टूल्स के साथ तालमेल बिठाकर चलना होता है बिना ड्रिफ्ट किए। इन्फ्रारेड हीट जल्दी बढ़ती है और फिर स्थिर रहती है, जिससे आपकी स्ट्रिप रेट लगातार बनी रहती है और पोस्ट-ash अवशेष निर्दिष्ट मान से नीचे रहेंगे। आप ऊर्जा बचाते हैं क्योंकि गर्मी मांग पर ही दी जाती है — कोई वार्म-अप आईडल पेनल्टी नहीं।
अनियोजित डाउनटाइम भी कम होता है। एमिटर्स की लाइफ ठोस होती है, और मॉड्यूलर आर्किटेक्चर आपको तनावपूर्ण रन के दौरान नहीं बल्कि शेड्यूल्ड मेंटेनेंस में मॉड्यूल बदलने की सुविधा देता है।
आपको क्या जानना चाहिए
इन्फ्रारेड ashing के लिए सटीक ऑप्टिकल समायोजन और साफ, परावर्तक कैविटी की आवश्यकता होती है। कन्वेक्शन सिस्टम की तुलना में इसका मैकेनिकल एनेवलोप अधिक सख्त होता है, इसलिए इंस्टालेशन से पहले टूल का फुटप्रिंट और सर्विस एक्सेस की पुष्टि करें। आपको एमिटर स्पेक्ट्रम को रिसिस्ट स्टैक और सब्सट्रेट स्टैक के अनुसार मिलाना होता है; अन्यथा संवेदनशील फिल्मों के ओवरहीट होने का जोखिम रहता है।
एक बार समायोजित हो जाने पर, प्रोसेस विंडो इतना व्यापक होता है कि 24/7 स्थिर परिणामों के साथ चलाया जा सकता है।