लिथोग्राफी प्रक्रिया में, बेकिंग तापमान में 0.5°C का भी अंतर, लाइनविड्थ को नैनोमीटर स्तर पर प्रभावित कर सकता है… जिससे कई घंटों की मेहनत बर्बाद हो जाती है। हमने ऐसा डिम्मेबल सेमीकंडक्टर हीटर लैंप बनाया है, जिससे ऐसी त्रुटियाँ रोकी जा सकें… एवं थर्मल नियंत्रण को एक नियमित प्रक्रिया बनाया जा सके।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
यह लैंप, क्वार्ट्ज आवरण के भीतर शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्वों का उपयोग करता है… जिससे तेज़ प्रतिक्रिया एवं स्थिर स्पेक्ट्रल आउटपुट प्राप्त होता है। सेमीकंडक्टर-ग्रेड ड्राइवर, 0.1% की सटीकता के साथ आउटपुट को नियंत्रित करता है… इससे कैलिब्रेटेड पाइरोमीटर या उपकरणों के निर्देशों के अनुसार नियंत्रण संभव हो जाता है। एक्टिव बेकिंग जोन में तापमान की एकरूपता ±0.1°C के भीतर ही रहती है… एवं प्रत्येक बार तापमान की सटीकता ±0.2°C से भी बेहतर रहती है।
व्यावहारिक दृष्टि से इसका लाभ:
फोटोरेजिस्ट पर “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं हेतु सटीक एवं नियमित तापमान आवश्यक है। इस लैंप के उपयोग से, निर्धारित तापमान पर ही बेकिंग होती है… जिससे स्किन-इफेक्ट एवं विलायकों का अवशेष कम हो जाता है। इससे दोष कम होते हैं… क्रिटिकल डाइमेंशनों पर नियंत्रण बेहतर होता है… एवं अपशिष्ट कम हो जाता है। लैंप जल्दी ही निर्धारित तापमान पर पहुँच जाता है… इसलिए ऊर्जा की खपत कम होती है… एवं 24/7 ऑपरेशन हेतु इसकी विश्वसनीयता बनी रहती है।
व्यावहारिक विवरण:
इसकी स्थापना हेतु उपकरणों का इंटरलॉक एवं EMC संगतता आवश्यक है। ड्राइवर, EMI के प्रति संवेदनशील है… इसलिए इंटरफेस डायग्राम के अनुसार ही इसे ग्राउंड करना आवश्यक है। इसकी अधिकतम निरंतर कार्य अवधि 5,000+ घंटे है… उसके बाद आउटपुट को पुनः कैलिब्रेट करना आवश्यक है। यदि सेटपॉइंट में 10% से अधिक परिवर्तन होता है, तो थर्मल स्थिरता हेतु 30 मिनट का समय आवश्यक है। पाइरोमीटर को भी नियमित रूप से कैलिब्रेट करना आवश्यक है… अन्यथा नियंत्रण प्रणाली ठीक से काम नहीं करेगी।