फ्लेक्सिबल डिस्प्ले लाइन में, फोटोरेसिस्ट बेक कोई सामान्य प्रक्रिया नहीं है। यह एक उत्पादन नियंत्रण बिंदु है।
सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक में 1°C का परिवर्तन क्रिटिकल डाइमेंशन को प्रभावित करता है और साथ ही स्कम्मिंग की समस्या उत्पन्न करता है। ड्राइंग लैंप एक और परिवर्तनशील कारक नहीं हो सकता। इसे थर्मल स्थिरता बनाए रखनी होगी।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है
हमने फ्लेक्सिबल डिस्प्ले ड्राइंग लैंप को दोहराने योग्य हीट डिलीवरी के आधार पर डिजाइन किया है। हैलोजन स्रोत सतह पर शॉर्ट-वेव ऊर्जा प्रदान करते हैं, जिससे तेजी से सतह-आधारित सुखाना संभव होता है। यदि आप मोटी फिल्में या थर्मल सेंसिटिव स्टैक्स चला रहे हैं, तो मीडियम-वेव और NIR कॉन्फ़िगरेशन उपलब्ध हैं।
सक्रिय क्षेत्र में वाफर-लेवल यूनिफॉर्मिटी ±0.1°C तक अपेक्षित है, और सेटपॉइंट नियंत्रण लाइन वोल्टेज में उतार-चढ़ाव के बावजूद ±0.5°C के भीतर रहता है। सिस्टम क्लास 1–100 क्लीनरूम में पार्टिकल्स को हिलाए बिना चलता है: सील्ड क्वार्ट्ज एन्वेलप, कम आउटगैसिंग फिटिंग, और लैमिनर एयरफ्लो पाथ जो पार्टिकल काउंट को स्थिर रखता है।
आउटपुट 5,000+ घंटे में 2% के भीतर स्थिर रहता है। लैंप मॉड्यूल सीधे स्टैंडर्ड ट्रैक इंटरफेस में फिट हो जाता है, 24 V नियंत्रण और सॉलिड कनेक्टर विकल्पों के साथ।
फ्लेक्सिबल डिस्प्ले के लिए यह क्यों प्रभावी है
फ्लेक्सिबल डिस्प्ले सब्सट्रेट पतले, घुमावदार और थर्मली संवेदनशील होते हैं। आपको ऐसा बेक चाहिए जो रेसिस्ट को सुखाए बिना सब्सट्रेट को विरूपित किए या थर्मल बजट को प्रभावित किए।
हमारा लैंप प्रोफाइल सोल्वेंट्स को साफ करते हुए सोक टाइम कम करता है, जिससे साइकिल समय घटता है बिना यूनिफॉर्मिटी को प्रभावित किए। कम रीवर्क लॉट, कम स्क्रैप। लिथोग्राफी प्रदर्शन पूर्वानुमेय रहता है।
ऊर्जा उपयोग भी कम होता है क्योंकि लैंप जल्दी सेटपॉइंट तक पहुंचता है और बिना हंटिंग के उसे बनाए रखता है।
क्या योजना बनानी चाहिए
लैंप अधिकांश लिथोग्राफी ट्रैकों के साथ काम करता है, लेकिन इंटीग्रेशन टूल के ऑप्टिकल अपर्चर, एग्जॉस्ट और तापमान सेंसर की स्थिति पर निर्भर करता है।
अपने रेसिस्ट स्टैक और सब्सट्रेट स्टैक के अनुसार प्रोफाइल को ट्यून करने के लिए एक छोटा कमीशनिंग रन योजना बनाएं।
एक ट्रेड-ऑफ है: उच्च पावर डेंसिटी के लिए क्लीन पावर आवश्यक है। वोल्टेज सैग या हार्मोनिक्स सेटपॉइंट में छोटे झटके ला सकते हैं, इसलिए स्थिर पावर फीड इंस्टॉलेशन चेकलिस्ट में शामिल होना चाहिए।