Pada lini display fleksibel, proses pemanggangan photoresist bukanlah langkah latar belakang. Ini merupakan pengendali hasil produksi.
Pergeseran 1°C pada soft bake atau hard bake akan mengubah dimensi kritis dan menyebabkan scumming. Lampu pengering tidak boleh menjadi variabel lain. Lampu harus menjadi konstan termal.
Apa yang benar-benar penting
Kami merancang lampu pengering display fleksibel berdasarkan pengantaran panas yang dapat diulang. Sumber halogen memancarkan energi gelombang pendek ke permukaan, sehingga pengeringan terjadi cepat dan dipimpin oleh permukaan. Jika Anda menjalankan film yang lebih tebal atau tumpukan yang sensitif secara termal, konfigurasi gelombang menengah dan NIR tersedia.
Harapkan uniformitas tingkat wafer ±0,1°C di seluruh zona aktif, dan kontrol setpoint yang tetap dalam ±0,5°C meskipun terjadi fluktuasi tegangan listrik. Sistem ini beroperasi di ruang bersih Kelas 1–100 tanpa mengaduk partikel: amplop kuarsa tertutup, perlengkapan dengan emisi gas rendah, dan jalur aliran udara laminar yang menjaga jumlah partikel tetap stabil.
Output bertahan dalam batas 2% selama lebih dari 5.000 jam. Modul lampu dapat langsung dipasang pada antarmuka trek standar, dengan kontrol 24 V dan opsi konektor yang solid.
Mengapa ini cocok untuk display fleksibel
Substrat display fleksibel tipis, melengkung, dan memiliki batasan termal. Anda membutuhkan proses pemanggangan yang mengeringkan resist tanpa merusak substrat atau melebihi anggaran termal.
Profil lampu kami mempersingkat waktu perendaman sambil tetap membersihkan pelarut, sehingga waktu siklus berkurang tanpa mengorbankan uniformitas. Lebih sedikit lot perbaikan. Lebih sedikit limbah. Performa litografi tetap dapat diprediksi.
Dan penggunaan energi lebih rendah, karena lampu mencapai setpoint dengan cepat dan mempertahankannya tanpa fluktuasi.
Apa yang perlu Anda rencanakan
Lampu ini kompatibel dengan sebagian besar trek litografi, namun integrasi bergantung pada bukaan optik alat, sistem pembuangan, dan lokasi pengukuran suhu.
Rencanakan proses commissioning singkat untuk menyesuaikan profil dengan tumpukan resist dan substrat Anda.
Satu kompromi: kepadatan daya tinggi membutuhkan pasokan listrik yang bersih. Penurunan tegangan atau harmonisa dapat menyebabkan jitter setpoint kecil, sehingga sumber daya yang stabil harus menjadi bagian dari daftar pemeriksaan instalasi.