Mendapatkan Suhu yang Tepat pada Pemanas Semikonduktor Berbasis Infra Merah
Jika Anda ingin mengurangi penggunaan karbon di pabrik Anda, kemungkinan besar Anda sudah menyadari bahwa oven resistif tradisional merupakan sumber energi yang boros. Menggunakan metode pemanasan berbasis inframerah jauh lebih efisien. Namun, ada tantangan yang perlu dihadapi: Anda tidak bisa sekadar mengganti sumber panasnya saja. Anda membutuhkan sistem termokopel yang mampu menangani siklus suhu yang cepat tanpa mengalami gangguan atau kerusakan.
Kami merancang sensor-sensor tersebut untuk ditempatkan tepat di dalam array lampu inframerah tersebut, di mana suhunya sangat tinggi.
Mengatasi Masalah “Keterlambatan” dalam Pemanasan
Pada pemanas semikonduktor, batas antara kondisi “sempurna” dan “rusak” sangat tipis. Dalam sekejap, wafer bisa menjadi terlalu panas sehingga rusak. Ini benar-benar situasi yang mengerikan.
Untuk mencegah hal ini, kami menggunakan termokopel tipe K atau N berkualitas tinggi. Termokopel ini cukup kuat untuk menahan radiasi dari lampu halogen tanpa rusak.
Namun, rahasia sebenarnya terletak pada diameter probe tersebut. Kami memilih diameter yang sesuai agar tidak terjadi keterlambatan dalam pengiriman data suhu ke kontroler PID. Jika probe terlalu tebal, akan terjadi keterlambatan dalam pengiriman data, sehingga kerusakan sudah terjadi sebelum data suhu sampai ke kontroler. Ini sama seperti mengemudi dengan speedometer yang tertinggal lima detik dari kenyataan… tentu bukan hal yang menyenangkan.
Mengatasi Gangguan Listrik dan Kimia
Lantai pabrik semikonduktor memiliki gangguan listrik yang tinggi. Dengan adanya sumber daya listrik berkekuatan tinggi, bacaan voltase bisa menjadi tidak akurat. Kami melindungi kabel-kabel tersebut agar terhindar dari gangguan EMI, sehingga kita dapat mendapatkan sinyal yang akurat.
Selain itu, ada juga masalah terkait lapisan pelindung sensor. Jika bekerja dalam kondisi vakum atau atmosfer inert, baja tahan karat atau Inconel merupakan pilihan yang baik. Namun, Anda harus memilih salah satu di antaranya. Lapisan pelindung yang tebal akan melindungi sensor dari paparan kimia, tetapi akan memperlambat waktu reaksi sensor. Ini merupakan keseimbangan yang sulit antara melindungi peralatan dan menjaga kecepatan proses pemanasan.
Menghemat Energi (dan Anggaran)
Kelebihan lampu inframerah adalah bahwa ia hanya memanaskan wafer saja, bukan seluruh ruangan. Ini merupakan cara yang lebih efisien.
Termokopel yang digunakan oleh kami menciptakan lingkaran umpan balik yang efektif, sehingga efisiensi pemanasan dapat dicapai. Dengan menghubungkan termokopel ini ke sistem loop tertutup, kita dapat menghindari lonjakan suhu yang tidak diinginkan, sehingga energi yang terbuang pun berkurang. Dengan demikian, biaya energi pun berkurang, dan dampak negatifnya pun berkurang. Sangat sederhana.