フレキシブルディスプレイラインにおいて、フォトレジストのベークは単なる背景工程ではなく、歩留まりのゲートである。
ソフトベークまたはハードベークで1℃のズレが生じると、クリティカルディメンションがシフトし、スカミングが発生する。乾燥ランプは別の変動要因になってはならず、熱的に一定である必要がある。
実際に重要なこと
フレキシブルディスプレイ用乾燥ランプは、再現性のある熱供給を前提に設計している。ハロゲン光源は短波長のエネルギーを表面に照射するため、迅速かつ表面主導の乾燥が可能である。厚膜や熱に敏感な積層体を処理する場合は、中波長やNIR構成の選択肢がある。
アクティブゾーン全体で±0.1℃のウェーハレベル均一性を期待でき、ライン電圧が変動しても設定温度は±0.5℃以内に維持される。システムはクラス1〜100のクリーンルーム内で運用され、粒子発生を抑えるために密封された石英封止、低アウトガスの固定具、粒子数を一定に保つ層流気流経路を備えている。
出力は5,000時間超の稼働でも2%以内に保持される。ランプモジュールは標準トラックインターフェースに直接装着でき、24 V制御および堅牢なコネクタオプションが用意されている。
フレキシブルディスプレイに適している理由
フレキシブルディスプレイの基板は薄く、曲面であり、熱的制約が大きい。基板の歪みや熱予算の超過を招かずにレジストを乾燥させるベークが必要である。
当社のランププロファイルは、溶媒を確実に除去しつつソークタイムを短縮し、サイクルタイムを削減しても均一性を犠牲にしない。リワークロットの減少、スクラップの削減が可能であり、リソグラフィ性能の予測性を維持する。
また、設定温度に迅速に到達し、設定温度を安定して保持するため、エネルギー消費も抑えられる。
計画時に考慮すべきこと
ランプはほとんどのリソグラフィトラックに対応するが、統合にあたっては装置の光学開口部、排気、温度検出位置が重要となる。
レジストスタックおよび基板スタックに合わせてプロファイルを調整するため、短期間の立ち上げ試運転を計画することが推奨される。
1点のトレードオフとして、高出力密度はクリーンな電源を必要とする。電圧降下や高調波が小さな設定温度のジッターを引き起こす可能性があるため、安定した電源供給は設置時のチェックリストに含めるべきである。