MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

なぜ、ホットエアを使ったウェーハ乾燥ではなく、IR乾燥を使うべきか MEMSの製造に従事している方なら、湿式エッチングや洗浄処理の後にウェーハを乾燥させるのがどれほど面倒かご存知でしょう。これは本当に大きなボトルネックです。私が訪れた工場のほとんどでは、依然としてホットエアを使っています。これは「...