ウェーハ加工装置用温度センサー

機械の壁を加熱するのはやめましょう ほとんどの赤外線ランプは、あらゆる方向に熱を放出します。つまり、360度全方位に熱が行き渡ってしまいます。ウェーハ処理装置では、これは問題です。エネルギーの大部分がウェーハに当たる代わりに、機器の内壁に集中してしまいます。 これは電力の無駄遣いです。さらに悪いこ...