클래스 100급 청정실을 진정으로 깨끗하게 유지하기
만약 클래스 100급 환경에서 작업을 하고 있다면, 그 어려움을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지 한 알이나 가스가 새어나오기만 해도 실리콘 웨이퍼는 망가집니다. 정말 끔찍한 상황이죠. 대부분의 일반적인 히터들은 이러한 상황에 적합하지 않습니다. 바로 그런 순간에야 히터에서 미세한 입자나 가스가 새어나오기 때문입니다.
그래서 우리는 반도체 처리용 히터로 고순도의 합성 석영 인프라레드 램프를 사용했습니다.
왜 석영일까요?
생각해보세요. 금속으로 만들어진 히터에는 구멍이 있어서 먼지가 그 안에 남게 됩니다. 또한 금속 이온도 생산 구역으로 새어나올 수 있습니다.
하지만 석영은 다릅니다. 석영은 융합된 규소로, 극도로 높은 온도에서도 안정적입니다. 변색되거나 부서지지도 않습니다. 게다가 인프라레드 방사선을 사용하기 때문에 열이 직접 목표물에 전달됩니다. 주변 공기에 영향을 주지 않아, 층류 흐름도 그대로 유지됩니다.
열에 관한 세부 사항
이 램프들은 매우 빠르게 열을 발생시킬 수 있도록 설계되었습니다. 작은 공간 안에 많은 에너지가 담겨 있어서, 웨이퍼가 움직이는 동안에도 적절한 온도를 유지할 수 있습니다.
사용 중인 전력 수준에 맞춰 와트수와 전압을 조절할 수 있습니다. 하지만 주의해야 할 점은, 이 램프들은 매우 뜨거워진다는 것입니다. 반드시 히터를 보호하는 장치가 제대로 작동하는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 히터 자체가 손상될 수 있습니다.
설치 방법
연결부는 표준형으로 되어 있어, 기존 시스템에 그대로 설치할 수 있습니다. 밀폐성도 좋아서, 진공 상태가 깨지거나 먼지가 들어올 걱정도 필요 없습니다.
하지만 한 가지 중요한 규칙이 있습니다: 절대로 석영을 맨손으로 만지지 마세요.
간단해 보이지만, 피부의 기름 때문에 보이지 않는 자국이 남습니다. 그 자국들이 과열을 유발하여 램프가 너무 일찍 손상될 수 있습니다. 반드시 장갑을 착용해야 합니다.
신중하게 설치한다면, 매우 높은 순도와 빠른 반응 속도를 얻을 수 있습니다.