기계를 가열하는 대신 웨이퍼를 직접 가열해 보세요.
일반적인 가열 요소들은 에너지를 사방으로 방출합니다. 좁은 반도체 제조 공장에서는 이런 방식은 문제가 됩니다. 낭비된 열이 장비의 내부 벽에 닿아서 장비 자체가 거대한 라디에이터가 되어버립니다. 이는 비효율적일 뿐만 아니라, 작업자가 화상을 입을 위험도 있습니다.
우리는 다른 방식을 사용합니다. 우리는 에너지를 정확하게 필요한 곳, 즉 웨이퍼나 기판 위로 직접 보낼 수 있는 방향성 적외선 램프를 사용합니다.
열을 정확한 곳에 전달하기
마치 손전등과 같은 원리입니다. 반사판과 특정 파장을 활용하여 열을 앞쪽으로 보냅니다. 그러면 장비 내부의 열 축적 문제도 해결됩니다. 내부 벽은 여전히 차가워집니다. 이렇게 하면 전체 환경이 더욱 통제 가능해집니다.
하드웨어의 구성 요소
이러한 램프를 선택할 때는 와트수와 전압이 중요합니다. 고와트수의 단파 램프를 사용하면 몇 초 만에 목표 온도에 도달할 수 있습니다.
하지만 한 가지 문제가 있습니다. 그런 높은 열 밀도는 장비에 큰 부담을 줍니다. 전원 공급 장치와 배선이 최대 전류를 감당할 수 있도록 해야 합니다. 그렇지 않으면 퓨즈가 자주 나가게 됩니다. 또한, 램프의 필라멘트를 보호하기 위해서는 적절한 냉각 시스템이 필요합니다. 그렇지 않으면 필라멘트가 너무 빨리 손상될 것입니다.
더 안전한 환경과 더 작은 공간
가장 좋은 점은, “잉여 열”이 사라지면 기계의 외부 케이스가 더 이상 위험 요소가 되지 않는다는 것입니다. 작업자들은 뜨거운 장비를 만질 걱정 없이 유지보수를 할 수 있습니다.
이 제품들은 그대로 교체 가능합니다. 전체 설계를 바꾸거나 더 많은 공간을 찾을 필요가 없습니다. 단순히 가열 요소만 교체하면 됩니다. 그러면 기계의 성능이 향상되고, 작업자들도 더 안전해집니다. 부탁드립니다. 반사판을 깨끗하게 유지해 주세요. 반사판에 조금이라도 먼지가 묻으면 빛이 흩어져서 다시 벽을 가열하게 됩니다.