MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

왜 핫에어 대신 적외선을 이용한 웨이퍼 건조 방식을 사용해야 하는가? MEMS 제조 업무를 하고 있다면, 습식 에칭이나 세척 과정 후에 웨이퍼를 건조시키는 데 드는 시간의 어려움을 잘 알고 있을 것입니다. 이는 분명한 병목 현상입니다. 제가 방문한 대부분의 공장들도...