Di lantai pembuatan, waktu henti yang tidak dirancang tidak memerlukan analisis post-mortem—anda melihatnya dalam wafer yang hilang dan tingkap spesifikasi yang baru sahaja terlepas. Apabila lampu ruang PVD rosak, keseluruhan bajet terma untuk penghasilan berada dalam keadaan negatif. Kami membina lampu PVD ini untuk mengelakkan perkara ini berlaku, dan ia beroperasi 24/7 tanpa mengurangkan kualiti.
Apa yang penting, secara teknikal
Lampu ini memberikan respons terma yang pantas dan keseragaman yang ketat di seluruh sasaran, jadi suhu kekal dalam ±0.1°C semasa langkah pengeringan kritikal. Profil inframerah gelombang pendek mencapai suhu dengan cepat, mengurangkan kelewatan terma dan membolehkan anda menetapkan profil pengeringan lembut dan keras fotoresist seperti yang anda perlukan. Bahan yang serasi dengan bilik bersih dan binaan tertutup mengekalkan penghasilan partikel pada tahap sifar, jadi ia boleh berfungsi dengan baik di persekitaran Kelas 1–100. Reka bentuk filament hayat panjang dan sarung kuarza yang kukuh mendorong selang perkhidmatan ke puluhan ribu jam, dengan drift output di bawah 5% selepas 5,000 jam.
Mengapa ia berfungsi dalam PVD
Dalam PVD, kestabilan suhu substrat secara langsung mempengaruhi kadar pemendapan, tekanan filem, dan lekatan. Lampu ini mengekalkan profil terma yang boleh diulang, dari satu pengeluaran ke pengeluaran yang lain, yang bermaksud kurang sisa dan kerja semula. Anda memperoleh ketebalan filem yang konsisten, penggunaan tenaga yang lebih rendah setiap wafer, dan kurang penukaran lampu. Peningkatan yang pantas memendekkan masa kitaran tanpa mengorbankan kawalan profil, dan output yang stabil memastikan anda berada dalam tingkap proses yang ketat di seluruh pelbagai resipi.
Butiran praktikal
Pemasangan bergantung kepada penyesuaian asas lampu dan penyambung dengan fixture ruang anda, kemudian mengesahkan kesesuaian voltan dan penyejukan. Berikan sedikit masa pemanasan untuk mencapai pencahayaan stabil, dan rancang peningkatan resipi anda berdasarkan itu.
Pastikan cecair penyejuk bersih dan kering, dan pastikan voltan talian stabil. Dalam kempen yang panjang, jadualkan pemeriksaan optik rutin untuk mengekalkan keseragaman.