Op de 300mm-lijn kan er geen extra ruimte van een halve graad worden gegeven aan de verhittingstijd. Een afwijking van 0,5°C tijdens het verhitten van de fotoresist is al voldoende om de cruciale dimensies te beïnvloeden en daardoor het hele productieproces te verstoren. De reserveonderdelen voor de verwarmingselementen van Axcelis zijn zo ontworpen dat de thermische controle binnen de gewenste grenzen blijft – bij elke verhittingscyclus, elke dienst.
Wat belangrijk is onder de motorkap
Wij kiezen voor elementen die worden gebruikt in korte-golflange halogeenstralers die compatibel zijn met de verhittingskamers van Axcelis. Deze elementen zorgen voor snel en gericht warmteafgifte, met een responstijd van minder dan een seconde. De uniformiteit van de temperatuur op het waferoppervlak blijft binnen ±0,1°C, waardoor zowel de zachte als de harde verhittingsprocessen stabiel blijven. Het kwartslichaam en de speciaal ontworpen aansluitingen zijn geschikt voor gebruik in een schone omgeving (klasse 1), waarbij de hoeveelheid deeltjes tot bijna nul wordt gehouden. Na 5.000+ uur gebruik kan nog steeds een betrouwbare prestatie worden verwacht, met een afwijking van minder dan 5%.
Het verwerken van fotoresist vereist goed thermisch beheer. Door deze reserveonderdelen te gebruiken, kan de gewenste verhittingscurve worden hersteld, wordt de variabiliteit in de dimensies verminderd en wordt het risico op fouten door temperatuurstoringen verminderd. Snelle warmtingsreactie verkort de cyctertijd, zonder dat de controle over de procesparameters verloren gaat.
De energieverbruik neemt af, omdat het element alleen dan wordt verhit wanneer dat nodig is, en niet door overdreven verhitting. Betrouwbaarheid betekent minder onverwachte stilstanden en minder noodzakelijke vervangingen, zodat de productie continu kan doorgaan.
Dit zijn de details die helpen om problemen te voorkomen. Zorg ervoor dat het onderdeel past bij het exacte model van de kamer en de juiste spanning. Controleer ook de richting van de aansluitingen en de druk waaronder ze worden vastgezet – één verkeerde verbinding kan leiden tot oververhitting en vroegtijdige storingen.
Plan de vervangingen in tijdens de reguliere onderhoudsperioden, en niet tijdens noodsituaties. Na de installatie is er eerst een korte warmtetijd nodig om alles te stabiliseren. Voer eerst een snelle controle uit voordat je de batch vrijgeeft.