Op de flexibele displaylijn is het bakken van de photoresist geen achtergrondproces. Het is een opbrengstpoort.
Een afwijking van 1°C in soft bake of hard bake verschuift de kritische dimensie en veroorzaakt scumming als bijeffect. De drooglamp mag geen extra variabele zijn. Het moet de thermische constante zijn.
Wat er werkelijk toe doet
We hebben de drooglamp voor flexibele displays ontworpen rondom herhaalbare warmteafgifte. Halogeenbronnen zenden kortegolfenergie uit naar het oppervlak, waardoor snelle, oppervlakgestuurde droging plaatsvindt. Voor dikkere lagen of thermisch gevoelige stapels zijn er medium-wave en NIR-configuraties beschikbaar.
Verwacht ±0,1°C uniformiteit op wafer-niveau over de actieve zone, met een setpointregeling die binnen ±0,5°C blijft, zelfs bij schommelingen in de lijnspanning. Het systeem werkt in Class 1–100 cleanrooms zonder deeltjes te verplaatsen: afgesloten kwartsomhulsels, armaturen met lage uitstoot, en een laminaire luchtstroom die het aantal deeltjes constant houdt.
De output blijft binnen 2% over meer dan 5.000 uren. Het lampmodule past direct in standaard trackinterfaces, met 24 V aansturing en degelijke connectoropties.
Waarom dit werkt voor flexibele displays
Flexibele displaysubstraten zijn dun, gebogen en thermisch beperkt. Er is een bak nodig die de resist droogt zonder het substraat te vervormen of het thermische budget te overschrijden.
Ons lampprofiel verkort de inweektijd terwijl oplosmiddelen toch worden verwijderd, waardoor de cyclustijd daalt zonder uniformiteit in te leveren. Minder herwerkingen. Minder afval. Lithografieprestaties blijven voorspelbaar.
Daarnaast is er een lager energieverbruik omdat de lamp snel het setpoint bereikt en het stabiel vasthoudt zonder te zoeken.
Waar u rekening mee moet houden
De lamp werkt met de meeste lithografietracks, maar integratie hangt af van de optische opening van het gereedschap, de afzuiging en de locatie van de temperatuurmeting.
Plan een korte inregelperiode om het profiel af te stemmen op uw resist- en substraatstapel.
Een compromis: hoge vermogensdichtheid vereist schone stroomvoorziening. Spanningdaling of harmonischen kunnen kleine setpointfluctuaties veroorzaken, dus een stabiele voeding moet op de installatielijst staan.