300 mm hatlarında, fırınlamada kullanılan elemana ekstra yarım derecelik bir uyum payı verilemez. Fotoresistin fırınlanması sırasında meydana gelen 0,5°C’lik bir sapma bile kritik ölçümleri bozabilir ve tüm ürünlerin atılmasına neden olabilir. Axcelis’in ısıtıcı elemanları, işlem süreci boyunca termal kontrolü sağlayacak şekilde tasarlanmıştır; her fırınlama işleminde, her vardiyada bu kontrol devam eder.
Önemli olan detaylar
Elemanın, Axcelis fırın odalarına uygun kısa dalga halojen yayıcılarla eşleştirilmesi gerekmektedir. Bu sayede saniyeler içinde hızlı ve yönlendirilmiş ısı sağlanır. Wafer üzerindeki sıcaklık homojenliği ±0,1°C civarında olur; bu da hem yumuşak hem de sert fırınlama süreçlerini stabilize eder. Kuvars gövde ve özel olarak tasarlanmış bağlantı noktaları, Class 1 standardına uygun şekilde tasarlanmıştır; böylece parça üretimi sırasında parça oluşumu neredeyse sıfıra indirilmiştir. 5.000 saatten fazla kullanım sonrasında bile %5’ten daha az bir sapma görülür.
Fotoresist işlemlerinde önemli olan şey termal kontrolün sağlanmasıdır. Bu yedek parçayı kullanarak istenen fırınlama kurvusuna geri dönebilir, CD değişkenliklerini azaltabilir ve sıcaklık kaynaklı sorunlardan dolayı ortaya çıkan atıkları azaltabilirsiniz. Hızlı termal düzenleme, profil kontrolünü korurken işlem süresini kısaltır.
Enerji tüketimi ise elemanın talep üzerine ısınması sayesinde azalır. Güvenilirlik ise planlanmayan duruşların ve önleyici değiştirmelerin azalmasını sağlar; böylece üretim sürekliliği korunur.
Sorunlardan kaçınmak için gerekli olan detaylar şunlardır: Parçayı tam olarak uygun fırın modeli ve voltaja göre seçin. Bağlantı noktalarının doğru şekilde yerleştirildiğinden emin olun; yanlış bir bağlantı, aşırı ısınmaya ve erken arızalara yol açabilir.
Yedek parça değişimlerini acil durumlarda değil, planlı bakım zamanlarında yapın. Kurulumdan sonra kısa bir ısınma süreci beklenmelidir. Partiyi piyasaya sürmeden önce hızlı bir profil kontrolü yapın.