Esnek ekran hattında, fotorezist pişirme arka planda kalan bir adım değildir. Bu, verim kapısıdır.
Soft bake veya hard bake sırasında 1°C’lik bir sapma kritik boyutları kaydırır ve yüzeyde kalıntı oluşumuna neden olur. Kurutma lambası başka bir değişken olamaz. Termal sabit olmalıdır.
Asıl önemli olan
Esnek ekran kurutma lambasını tekrarlanabilir ısıtma sağlama prensibi etrafında tasarladık. Halojen kaynaklar, yüzeye kısa dalga enerjisi verir, böylece hızlı ve yüzey odaklı kurutma sağlanır. Daha kalın filmler veya termal olarak hassas katmanlar için orta dalga ve NIR konfigürasyonları mevcuttur.
Aktif bölgede ±0.1°C wafer seviyesinde uniformite ve hatta hat voltaj dalgalanmalarında bile ±0.5°C içinde kalan setpoint kontrolü bekleyin. Sistem, parçacık yayılımı olmadan Class 1–100 temiz odalarda çalışır: kapalı kuvars zarflar, düşük gaz çıkışı yapan aksesuarlar ve parçacık sayısını sabit tutan laminar hava akışı yolu.
Çıkış gücü 5,000+ saat boyunca %2 içinde kalır. Lamba modülü, standart track ara yüzlerine doğrudan takılır, 24 V kontrol ve sağlam konektör seçenekleri ile.
Esnek ekran için neden uygundur
Esnek ekran substratları ince, eğimli ve termal olarak kısıtlanmıştır. Substratı bozmayacak veya termal bütçeyi aşmayacak şekilde rezist kurutabilen bir pişirme gerekir.
Lamba profili, solventleri temizlerken emme süresini kısaltır, böylece çevrim süresi uniformiteden ödün vermeden düşer. Daha az yeniden işleme partisi. Daha az hurda. Litografi performansı öngörülebilir kalır.
Ayrıca lamba setpoint’e hızlı ulaşır ve dalgalanma yapmadan koruduğundan enerji tüketimi düşüktür.
Planlamanız gerekenler
Lamba çoğu litografi track’i ile uyumludur, ancak entegrasyon aracın optik açıklığına, egzoz sistemine ve sıcaklığı nereden okuduğuna bağlıdır.
Rezist ve substrat katmanınıza uygun profil ayarı için kısa bir devreye alma çalışması planlayın.
Bir takas olarak: yüksek güç yoğunluğu temiz güç gerektirir. Voltaj düşüşü veya harmonikler küçük setpoint oynaklıklarına neden olabilir, bu yüzden stabil besleme kuruluma dair kontrol listesinde yer almalıdır.