На поверхні для літографії навіть зміна температури на 0,5°C може призвести до зміни ширини ліній на кілька нанометрів – що означає втрату годин роботи. Ми створили світильник з напівпровідниковим нагрівачем, який дозволяє запобігти таким змінам та зробити контроль температури процесу точним та повторюваним.
Що має значення з технічної точки зору
У світильнику використовується елемент короткохвильового інфрачервоного випромінювання, розташований у кварцовому корпусі – цей матеріал обраний через його швидку реакцію та стабільність спектрального випромінювання. Драйвер напівпровідникового типу забезпечує роздільну здатність регулювання яскравості на рівні 0,1%, тож можна ефективно контролювати температуру за допомогою каліброваного пірометра чи інших пристроїв. У активній зоні нагріву температура залишається стабільною в межах ±0,1°C, а точність налаштувань перевищує ±0,2°C.
Конструкція світильника підходить для роботи в класах чистоти 1–100: матеріали, які використовуються, не виділяють шкідливих речовин, не утворюють частинок, а конструкція дозволяє регулярно очищувати пристрій без порушення його налаштувань.
Чому це ефективно на практиці
Для процесів м’якого та жорсткого нагрівання фоторезисту необхідні строгі та стабільні параметри температури. За допомогою цього світильника можна досягти потрібної температури м’якого нагрівання, а потім поступово підвищити температуру до рівня жорсткого нагрівання, уникаючи при цьому надмірного нагріву та задержки розчинників. Це дозволяє зменшити кількість дефектів, поліпшити контроль критичних розмірів та зменшити кількість відходів. Витрати енергії зменшуються, оскільки світильник швидко досягає потрібної температури та підтримує її стабільно. Крім того, пристрій може функціонувати 24/7 без несподіваних перерв.
Ось практичні деталі
Для встановлення світильника необхідна синхронізація з пристроями, які використовуються в процесі літографії, а також сумісність з пристроями типу EMC. Драйвер чутливий до електромагнітних перешкод, тож його необхідно правильно підключити до мережі. Максимальний час роботи світильника становить 5 000 годин; після цього необхідно знову калібрувати пристрій, щоб зберегти стабільність параметрів температури. Якщо ви змінюєте значення температури більш ніж на 10%, необхідно передбачити 30 хвилин на нагрівання для досягнення термічної стабільності. Також необхідно регулярно калібрувати пірометр – інакше точність контролю буде залежати від якості самого пірометра.