Trên dây chuyền màn hình linh hoạt, bước nung photoresist không phải là bước nền mà là cửa kiểm soát tỷ lệ sản phẩm đạt yêu cầu.
Chỉ cần lệch 1°C trong quá trình soft bake hoặc hard bake sẽ làm thay đổi kích thước quan trọng và kéo theo hiện tượng scumming. Đèn sấy không thể là biến số khác. Nó phải là hằng số nhiệt.
Điều thực sự quan trọng
Chúng tôi xây dựng đèn sấy cho màn hình linh hoạt xoay quanh việc cung cấp nhiệt đều và lặp lại được. Nguồn halogen phát bức xạ sóng ngắn trực tiếp lên bề mặt, giúp sấy nhanh, ưu tiên bề mặt. Nếu bạn xử lý các lớp phim dày hơn hoặc các lớp xếp chồng nhạy cảm với nhiệt, có thể lựa chọn cấu hình sóng trung và NIR.
Đồng đều nhiệt độ ở mức ±0.1°C trên toàn bộ vùng hoạt động của wafer, và kiểm soát điểm đặt nhiệt giữ trong phạm vi ±0.5°C ngay cả khi điện áp nguồn dao động. Hệ thống vận hành trong phòng sạch Class 1–100 mà không khuấy động bụi: bọc quartz kín, phụ kiện ít phát khí, và luồng khí tầng giữ cho số lượng hạt bụi ổn định.
Cường độ phát sáng giữ ổn định trong phạm vi 2% sau hơn 5,000 giờ hoạt động. Module đèn lắp trực tiếp vào các giao diện track tiêu chuẩn, có điều khiển 24 V và các tùy chọn đầu nối chắc chắn.
Tại sao điều này hiệu quả với màn hình linh hoạt
Vật liệu nền màn hình linh hoạt mỏng, cong và giới hạn nhiệt. Cần một quy trình nung sấy làm khô lớp resist mà không làm biến dạng nền hoặc vượt ngân sách nhiệt.
Hồ sơ nhiệt đèn của chúng tôi giảm thời gian ngâm mà vẫn loại bỏ dung môi, nhờ đó giảm thời gian chu trình mà không ảnh hưởng đến độ đồng đều. Ít lô tái xử lý hơn. Ít phế liệu hơn. Hiệu suất quang khắc duy trì tính dự đoán.
Và bạn tiết kiệm năng lượng hơn, vì đèn đạt điểm đặt nhiệt nhanh và giữ nhiệt ổn định mà không dao động.
Những điều cần lưu ý khi lên kế hoạch
Đèn tương thích với hầu hết các track quang khắc, nhưng việc tích hợp phụ thuộc vào khẩu độ quang học của thiết bị, hệ thống thoát khí, và vị trí cảm biến nhiệt độ.
Cần một đợt vận hành thử ngắn để điều chỉnh hồ sơ nhiệt phù hợp với lớp resist và vật liệu nền của bạn.
Một điểm cần đánh đổi: mật độ công suất cao đòi hỏi nguồn điện sạch. Sụt áp hoặc sóng hài có thể gây dao động nhỏ ở điểm đặt nhiệt, nên nguồn cung cấp ổn định cần được đưa vào danh sách kiểm tra khi lắp đặt.