Trên sàn fab, thời gian ngừng hoạt động không dự kiến không cần phải phân tích sau khi xảy ra - bạn có thể thấy nó qua số lượng wafer bị mất và các khoảng thời gian quy cách mà bạn vừa bỏ lỡ. Khi đèn của buồng PVD ngừng hoạt động, toàn bộ ngân sách nhiệt cho quá trình đó sẽ rơi vào tình trạng đỏ. Chúng tôi đã chế tạo đèn PVD này để ngăn chặn điều đó xảy ra, và nó hoạt động 24/7 mà không cắt giảm.
Những điều quan trọng về mặt kỹ thuật
Đèn này mang lại phản ứng nhiệt nhanh và sự đồng nhất chặt chẽ trên bề mặt mục tiêu, vì vậy nhiệt độ duy trì trong khoảng ±0.1°C trong các bước nướng quan trọng. Hồ sơ hồng ngoại sóng ngắn đạt được nhiệt độ nhanh chóng, giảm thiểu độ trễ nhiệt và cho phép bạn điều chỉnh các hồ sơ nướng mềm và nướng cứng của photoresist theo cách bạn cần.
Vật liệu tương thích với phòng sạch và cấu trúc kín giúp giữ cho việc phát sinh hạt ở mức không có, vì vậy nó có thể hoạt động thoải mái trong các môi trường Class 1–100. Thiết kế sợi đốt tuổi thọ dài và vỏ quartz chắc chắn giúp kéo dài khoảng thời gian phục vụ lên đến hàng chục nghìn giờ, với độ trôi đầu ra dưới 5% sau 5,000 giờ.
Tại sao nó hoạt động trong PVD
Trong PVD, độ ổn định nhiệt độ của bề mặt trực tiếp ảnh hưởng đến tốc độ lắng đọng, căng thẳng phim và độ bám dính. Đèn này giữ cho hồ sơ nhiệt có thể lặp lại, qua từng lần chạy, điều này có nghĩa là ít phế liệu và công việc sửa chữa hơn. Bạn có được độ dày phim đồng nhất, tiêu thụ năng lượng thấp hơn trên mỗi wafer, và ít thay thế đèn hơn.
Tăng tốc nhanh giúp rút ngắn thời gian chu kỳ mà không mất kiểm soát hồ sơ, và đầu ra ổn định giữ cho bạn nằm trong các khoảng quy trình chặt chẽ trên nhiều công thức khác nhau.
Chi tiết thực tiễn
Việc lắp đặt chỉ cần khớp cơ sở đèn và đầu nối với thiết bị của buồng, sau đó xác nhận khả năng tương thích về điện áp và làm mát. Hãy cho nó một thời gian làm nóng ngắn để đạt được độ bức xạ ổn định, và lên kế hoạch cho các bước tăng nhiệt của bạn dựa trên điều đó.
Giữ cho chất làm mát sạch sẽ và khô ráo, và giữ ổn định điện áp dòng. Trong các chiến dịch dài hạn, hãy lên lịch kiểm tra quang học định kỳ để duy trì sự đồng nhất.