在柔性显示生产线上，光刻胶烘烤不是一个背景步骤，而是产率关口。
软烘烤或硬烘烤中温度漂移1°C会导致关键尺寸偏移，并带来残留膜问题。干燥灯不能成为另一个变量，它必须是热稳定的。
关键点
我们围绕可重复的热能传递设计了柔性显示干燥灯。卤素光源将短波能量直接投射到表面，实现快速、表面主导的干燥。如果处理较厚的膜层或热敏感叠层，也提供中波和近红外（NIR）配置。
在活性区内，晶圆级均匀性可达±0.1°C，设定点控制在±0.5°C以内，即使线路电压波动也能保持稳定。系统运行于Class 1–100级洁净室，无搅动颗粒：采用密封石英灯管、低逸散固定装置，以及层流气流路径，保持颗粒计数稳定。
输出功率在5,000小时以上保持2%以内的稳定性。灯模块可直接安装于标准轨道接口，支持24 V控制和稳固的连接器选项。
该方案适用于柔性显示的原因
柔性显示基板薄且弯曲，热管理受限。烘烤必须在不变形基板、不超出热预算的前提下完成光刻胶干燥。
我们的灯具曲线缩短了固化时间，同时有效驱散溶剂，降低循环时间而不牺牲均匀性。减少返工批次，降低废品率。光刻性能保持稳定可控。
另外，能耗较低，因灯具快速达到设定温度并保持，无需频繁调整。
需要规划的事项
该灯具兼容大多数光刻轨道，但集成时需考虑设备的光学孔径、排气系统及温度测量位置。
建议安排短期调试，针对您的光刻胶体系和基板叠层调整温度曲线。
一个折中点是：高功率密度要求电源稳定。电压跌落或谐波可能引起设定点轻微波动，因此稳定电源应列入安装检查清单。