停止为机器本身加热，改为直接为晶圆加热
大多数普通加热元件会将能量向各个方向释放。在空间狭小的半导体制造车间里，这无疑会带来很多麻烦。那些被浪费的熱量会作用于设备的内部墙壁，使得设备外壳变成一个巨大的散热器。这不仅效率低下，还可能让操作员受到烫伤。
我们采用不同的方式来解决这个问题。我们使用定向红外灯，将热量精准地输送到需要的地方——也就是晶圆或基板上。
把热量送到正确的位置
可以把它想象成手电筒，而不是普通灯泡。通过使用反射器以及特定波长的光线，我们可以将热量有效地传递到目标位置。这样一来，设备的内部墙壁就不会过热，整个环境也会更加可控。
硬件的关键参数
在选择这类灯具时，功率和电压是决定升温速度的关键因素。如果选择高功率的短波灯，那么几秒钟内就能达到所需温度。
不过，这也有一些缺点。如此高的热密度会给设备带来很大压力。你必须确保电源和电路能够承受峰值电流，否则熔断器就会频繁损坏。另外，还有一个要点：如果没有合适的冷却措施，那么灯丝很快就会烧坏。
更安全且占用空间更小
最棒的是，当那些“多余的 Heat”被消除后，设备的外壳就不再构成危险了。操作员可以在不担心触碰到过热外壳的情况下进行维护工作。
我们设计的这些灯具可以直接替换现有的加热器。你无需重新设计整个系统或寻找更多空间，只需更换加热器即可获得更好的散热效果。这样，机器的运行温度会更低，操作员的安全性也会得到保障。请务必保持反射器的清洁，因为一点灰尘都可能让光线散射，从而再次导致设备过热。