Axcelis加热元件备件

在300毫米光刻线上，加热阶段的温度控制极其严格，甚至半度的误差都会导致关键尺寸出现偏差，从而使得整个生产过程失败。Axcelis品牌的加热元件设计有良好的热控制功能，能够确保每次加热过程都在设定的范围内进行。 关键点在于： 我们选择的加热元件是专为与Axcelis光刻机配套使用的短波卤素发光体设...