真空室红外加热器

真空红外加热与强制空气加热：哪种方式更有效？ 如果您正在为半导体加工选择合适的真空腔体，那么实际上您就是在决定如何传递能量。很多人首先会考虑使用热空气循环的方式。但问题在于：强制空气加热依赖于对流作用，而在真空中，对流根本无法发挥作用。既然没有空气可以推动，自然也就无法传递热量了。这时，红外加热便...