半导体洁净室推车式加热器

如何保持100级洁净室的洁净状态 如果你正在运营一个100级洁净室，那么你肯定知道其中的难度。哪怕有一点点灰尘或气体泄漏，都会导致硅晶圆遭到损坏。这简直就是一场噩梦。大多数普通加热器根本无法满足这种要求——因为它们会在最不合适的时机释放出颗粒物或气体。 因此，我们选择了高纯度的合成石英红外灯作为半...