في قاعة التصنيع، لا يمكن اعتبار التغيرات الحرارية مجرد قيم مقبولة؛ بل هي عوائق كبيرة تؤثر سلبًا على جودة المنتج. حتى أصغر تغيير في درجة الحرارة قد يؤدي إلى اختلال في خصائص الفوتورزيست، وإذا لم يتم تثبيت درجة الحرارة بشكل صحيح، فإن ذلك سيؤدي إلى تشوهات في شكل المنتج وانخفاض جودته. يمكن استخدام تقنية CSP على مستوى الرقاقة فقط عندما يكون التحكم في درجة الحرارة دقيقًا، ويجب أن تظل درجة الحرارة ثابتة عند مستوى أقل من درجة واحدة في كل خطوة من خطوات العملية.
إليكم الأمور المهمة التي يجب مراعاتها:
لقد صممنا جهاز التسخين بالأشعة تحت الحمراء لاستخدامه مع تقنية CSP، بحيث يعمل على إصدار أشعة ذات طول موجي قصير، مُضبطة بحيث تتناسب مع الطول الموجي الذي يمتصه الفوتورزيست والمواد البوليمرية. تصل الطاقة إلى الفيلم مباشرة، بسرعة، مع حد أدنى من انتقال الحرارة إلى الركيزة. في المنطقة النشطة، تظل درجة الحرارة ثابتة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، ويظل مستوى التكرار ضمن نطاق 0.2 درجة مئوية على مدار 24 ساعة.
المنصة مُصممة للاستخدام في بيئات نظيفة من الفئة 1–100، كما أنها مُصممة لعدم إنتاج أي جسيمات؛ فهي تستخدم مواد خالية من الغازات، ونوافذ كوارتز مغلقة، بالإضافة إلى نظام تدفق هوائي يمنع تسرب الشوائب إلى داخل العملية. يمكن استخدام تقنيات التسخين المختلفة على نفس الجهاز، دون الحاجة إلى إعادة ضبط الإعدادات بين الخطوات المختلفة.
لماذا يكون ذلك مفيدًا في الإنتاج؟
يمكن استعادة وقت الدورة الإنتاجية، لأن عملية التسخين تتم بسرعة دون أي تأخير. كما يقل استهلاك الطاقة، لأن الجهاز يسخن الفيلم فقط، وليس الركيزة. يتحسن التحكم في أبعاد الفوتورزيست عندما تكون درجة الحرارة ثابتة، مما يقلل من التغيرات في جودة المنتج. تتم عملية التصليد بشكل متساوٍ، مما يقلل من التشوهات والفراغات في المنتج.
يمكن ملاحظة الفوائد في وقت التشغيل؛ فالنظام يعمل على مدار 24 ساعة دون توقف غير مخطط له، كما أن المراقبة الحرارية التنبؤية تساعد في زيادة مدة الخدمة.
بعض الملاحظات العملية قبل البدء في التركيب:
يجب مطابقة أبعاد الغرفة مع أبعاد الجهاز، بالإضافة إلى فحص قدرة سطح الرقاقة على امتصاص الطاقة؛ فالأجزاء العاكسة أو الخطوط المعدنية قد تؤثر على كمية الطاقة الممتصة. يجب ضبط الجهاز بحيث يتناسب مع خصائص الفيلم والإعدادات المستخدمة. لا يمكن استخدام نفس الإعدادات لجميع الحالات.
يجب إجراء اختبارات قصيرة لتحديد الإعدادات المناسبة والتأكد من توزيع درجات الحرارة بشكل متساوٍ في جميع الدفعات من المنتجات. بمجرد القيام بالضبط، يصبح من الممكن التنبؤ بنتائج العملية، وهذا بالضبط هو الهدف.