ফ্যাব মেঝেতে, ashing-কে একটি ব্ল্যাক বক্স হিসেবে বিবেচনা করা যায় না। স্ট্রিপিংয়ের পর অবশিষ্ট photoresist আপনার উৎপাদনশীলতা কমাবে, এবং যদি তাপীয় প্রোফাইল স্থিতিশীল না থাকে, তাহলে একটি সম্পূর্ণ লট নষ্ট হতে পারে। ইঞ্জিনিয়ার্ড হিটিং সহ ইনফ্রারেড ashing আপনাকে প্রতিবার একটি পুনরাবৃত্তিযোগ্য তাপীয় বাজেট প্রদান করে।
টেকনিক্যালি যা গুরুত্বপূর্ন
আমরা সরাসরি ছোট তরঙ্গদৈর্ঘ্যের ইনফ্রারেড ইমিটার দিয়ে photoresist-কে টার্গেট করি—দ্রুত এবং সংযুক্ত তাপ যা ক্যারিয়ারের পরিবর্তে সরাসরি রেজিস্টে প্রবেশ করে। এভাবে ashing ফ্রন্ট নিয়ন্ত্রণে রাখা হয় এবং ওয়েফার স্তরের সাম্যবিধি ±0.1°C মধ্যে বজায় থাকে। এই টুলটি Cleanroom Class 1–100-এর জন্য ডিজাইন করা হয়েছে: একটি সীলযুক্ত, কম আউটগ্যাসিং সমাবেশ এবং একটি তাপীয় পথ যা কণা মুক্ত থাকে।
শূন্য কণা সৃষ্টিকরণ একটি স্লোগান নয়। এটি উপাদান নির্বাচন, পরিষ্কার সমাবেশ এবং এমন একটি ডিজাইনের মাধ্যমে নিশ্চিত করা হয় যা বিক্ষিপ্ত বাতাস প্রবাহ এড়ায়। সিস্টেমটি আপনার photoresist bake তাপমাত্রা নরম ও কঠিন বেক প্রোফাইলে কঠোরভাবে নিয়ন্ত্রণ করে, এবং লট থেকে লট পর্যন্ত পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা প্রদান করে।
প্র্যাকটিসে কেন কাজ করে
লিথোগ্রাফি এবং প্যাকেজিং লাইনে ashing কে ক্লাস্টার টুলগুলোর সাথে সামঞ্জস্য রেখে চলতে হয়। ইনফ্রারেড তাপ দ্রুত বাড়ে, এবং তারপর স্থিতিশীল থাকে, ফলে আপনার স্ট্রিপ হার সঠিক থাকে এবং ashing-এর পর অবশিষ্টাংশ স্পেসিফিকেশনের নিচে থাকে। আপনি শক্তি সাশ্রয় করতে পারেন কারণ তাপ অন-ডিমান্ড সরবরাহ করা হয়—কোনও ওয়ার্ম-আপ বা অপেক্ষার সময় থাকে না।
অপ্রত্যাশিত ডাউনটাইমও হ্রাস পায়। ইমিটারগুলোর জীবনকাল দৃঢ় এবং মডুলার আর্কিটেকচারের কারণে নির্ধারিত রক্ষণাবেক্ষণের সময় মডিউল পরিবর্তন করা যায়, জরুরি চলাকালীন নয়।
আপনাকে যা জানতেই হবে
ইনফ্রারেড ashing এর জন্য সঠিক অপটিক্যাল সমন্বয় এবং পরিষ্কার, প্রতিফলক ক্যাভিটি প্রয়োজন। কনভেকশন সিস্টেমের তুলনায় একটি সংকীর্ণ যান্ত্রিক স্পেসের প্রয়োজন হতে পারে, তাই টুলের ফুটপ্রিন্ট এবং সার্ভিস অ্যাক্সেস ইনস্টলেশনের আগে নিশ্চিত করুন। এছাড়াও, ইমিটার স্পেকট্রাম রেজিস্ট স্ট্যাক এবং সাবস্ট্রেট স্ট্যাকের সাথে মেলাতে হবে; না হলে সংবেদনশীল ফিল্মগুলি অতিরিক্ত গরম হয়ে যেতে পারে।
একবার সঠিকভাবে সমন্বয় হয়ে গেলে, প্রোসেস উইন্ডো যথেষ্ট বিস্তৃত হয় যাতে ২৪/৭ নির্ভরযোগ্য ফলাফল দিয়ে চলতে পারে।