ফ্যাব ফ্লোরে, অপ্রত্যাশিত ডাউনটাইমের জন্য পোস্ট-মর্টেমের প্রয়োজন নেই—আপনি এটি হারানো ওয়েফার এবং স্পেক উইন্ডোতে দেখতে পান যা আপনি মিস করেছেন। যখন একটি PVD চেম্বার ল্যাম্প বন্ধ হয়ে যায়, তখন পুরো থার্মাল বাজেট লাল হয়ে যায়। আমরা এই PVD ল্যাম্পটি তৈরি করেছি যাতে এটি না ঘটে, এবং এটি ২৪/৭ চলে কোন প্রকারের কমপ্রোমাইজ ছাড়াই।
প্রযুক্তিগতভাবে যা গুরুত্বপূর্ণ
এই ল্যাম্পটি দ্রুত তাপীয় প্রতিক্রিয়া এবং লক্ষ্যবস্তু জুড়ে সঠিক একরূপতা নিয়ে আসে, তাই ক্রিটিকাল বেক স্টেপের সময় তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে। শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড প্রোফাইল দ্রুত তাপমাত্রায় পৌঁছায়, তাপীয় বিলম্ব কমিয়ে আনে এবং আপনাকে ফটোরেজিস্ট সফট বেক এবং হার্ড বেক প্রোফাইলগুলি আপনার প্রয়োজন অনুযায়ী সেট করতে দেয়। ক্লিনরুম-কমপ্যাটিবল উপকরণ এবং একটি সিলড বিল্ড কণার উৎপাদন শূন্যে রাখে, তাই এটি ক্লাস ১–১০০ পরিবেশে আরামদায়কভাবে অবস্থান করে। দীর্ঘমেয়াদী ফিলামেন্ট ডিজাইন এবং শক্তিশালী কোয়ার্টজ এনভেলপ সার্ভিস ইন্টারভ্যালকে দশ হাজার ঘণ্টার মধ্যে ঠেলে দেয়, ৫,০০০ ঘণ্টার পর আউটপুট ড্রিফট ৫% এর নিচে থাকে।
কেন এটি PVD তে কার্যকর
PVD তে, সাবস্ট্রেট তাপমাত্রা স্থিতিশীলতা সরাসরি ডিপোজিশন রেট, ফিল্ম স্ট্রেস এবং অ্যাডহেশনকে চালিত করে। এই ল্যাম্পটি থার্মাল প্রোফাইলকে পুনরাবৃত্তিযোগ্য রাখে, রান থেকে রান, যার মানে কম স্ক্র্যাপ এবং রিওয়ার্ক। আপনি ধারাবাহিক ফিল্মের পুরুত্ব, প্রতি ওয়েফারে কম শক্তি এবং কম ল্যাম্প পরিবর্তন পাবেন। দ্রুত র্যাম্প-আপ সাইকেল সময়কে সংক্ষিপ্ত করে প্রোফাইল নিয়ন্ত্রণ ছাড়াই, এবং স্থিতিশীল আউটপুট আপনাকে একাধিক রেসিপির মধ্যে সংকীর্ণ প্রক্রিয়া উইন্ডোর মধ্যে রাখতে সাহায্য করে।
ব্যবহারিক বিবরণ
ইনস্টলেশন ল্যাম্প বেস এবং কানেক্টরকে আপনার চেম্বার ফিক্সচারের সাথে মেলানোর মাধ্যমে আসে, তারপর ভোল্টেজ এবং কুলিং কম্প্যাটিবিলিটি নিশ্চিত করুন। এটি একটি ছোট উষ্ণতা দিন যাতে স্টেডি-স্টেট ইরাডিয়েন্সে পৌঁছায়, এবং আপনার রেসিপি র্যাম্পগুলি তার চারপাশে পরিকল্পনা করুন। কুল্যান্টকে পরিষ্কার এবং শুকনো রাখুন, এবং লাইন ভোল্টেজ স্থিতিশীল রাখুন। দীর্ঘ ক্যাম্পেইনের মধ্যে, একরূপতা বজায় রাখার জন্য নিয়মিত অপটিক্যাল পরিদর্শনের সময়সূচি তৈরি করুন।