ফ্যাব ফ্লোরে, তাপীয় অস্থিরতা কোনো সহনীয় মান নয়; বরং এটা একটি গুরুতর সমস্যা। এমনকি মাত্র এক ডিগ্রির তাপীয় পরিবর্তনও ফটোরেজিস্টের গুণমানকে প্রভাবিত করে। আর যদি CSP স্ট্যাকটি সমানভাবে শুকায় না, তাহলে ওয়েফারে বিকৃতি দেখা দেয়। ওয়েফার-লেভেল CSP কেবলমাত্র তখনই কাজ করে, যখন তাপীয় নিয়ন্ত্রণ নিয়মিত থাকে; প্রতিটি ধাপেই তাপমাত্রা নির্দিষ্ট সীমার মধ্যে থাকতে হয়।
ওয়েফার-লেভেল CSP ইনফ্রারেড হিটারটি শর্ট-ওয়েভ NIR এমিটারগুলো ব্যবহার করে তৈরি করা হয়েছে; এগুলো ফটোরেজিস্ট ও পলিমার ডাইইলেকট্রিকগুলো কতটা শক্তি শোষণ করে তার উপর নির্ভর করে। শক্তি সরাসরি ফিল্মের মধ্যে প্রবেশ করে; সাবস্ট্রেটে খুব কম তাপ প্রবেশ করে। অ্যাক্টিভ জোনে ওয়েফার-লেভেল ইউনিফর্মিটি ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; ২৪ ঘন্টার মধ্যে এই মান 0.2°C এর মধ্যেই থাকে।
এই প্ল্যাটফর্মটি ক্লাস ১–১০০ মানের ক্লিনরুমের জন্য উপযুক্ত; এটা শূন্য কণা উৎপন্ন করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে—কম গ্যাস নির্গমনকারী উপকরণ, সিলড কোয়ার্টজ উইন্ডো, এবং ল্যামিনার এয়ারফ্লো সিস্টেম প্রক্রিয়াটিকে দূষণ থেকে রক্ষা করে। “সফ্ট বেক”, “হার্ড বেক” এবং “আন্ডারফিল কিউর” সবকিছুই একই তাপীয় ইঞ্জিন দ্বারা সম্পন্ন হয়—একটি হিটার, একাধিক ধাপ; ধাপগুলোর মধ্যে কোনো পুনর্মূল্যায়নের দরকার নেই।
উৎপাদনে এর সুবিধা হলো: র্যাম্প-আপ ও সময় দ্রুত হয়; তাপ ব্যবহারও কম হয়—কারণ শুধুমাত্র ফিল্মটিই গরম হয়, ক্যারিয়ারটি নয়। তাপমাত্রা স্থিতিশীল থাকার ফলে ফটোরেজিস্টের গুণমান উন্নত হয়। CSP স্ট্যাকগুলো সমানভাবে শুকায়; ফলে ওয়েফারে বিকৃতি ও ফাঁক কমে যায়।
সিস্টেমটি ২৪/৭ চালু থাকে; কোনো অপ্রত্যাশিত বন্ধ হওয়ার ঘটনা নেই। প্রিডিক্টিভ তাপীয় মনিটরিংয়ের ফলে সার্ভিস ইন্টারভ্যাল বাড়ে।
সিস্টেমটি ইনস্টল করার আগে কিছু বিষয় মনে রাখা দরকার: চেম্বারের আকার ও ওয়েফারের পৃষ্ঠের প্রতিফলন ক্ষমতা যাচাই করা দরকার—রিফ্লেক্টিভ ফিক্সচার বা ধাতব ট্রেসগুলো কতটা শক্তি শোষণ করে তা প্রভাবিত করে। হিটারটি ফিল্ম স্ট্যাক ও রেসিপির সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ হওয়া দরকার। সবার জন্য একই ধরনের প্রোফাইল কাজ করবে না।
সঠিক সেটপয়েন্ট নির্ধারণ ও পণ্যগুলোর ইউনিফর্মিটি যাচাই করার জন্য একটি সংক্ষিপ্ত ইন্টিগ্রেশন প্রক্রিয়া করা দরকার। ক্যালিব্রেশন করার পর প্রক্রিয়াটি আরও নির্ভুল হয়। আর এই নির্ভুলতাই হলো এর মূল উদ্দেশ্য।