V prostředí výroby se rychle naučíte, že odchylka teploty při zahřívání fotorezistu o 0,5 °C může způsobit změnu kritických rozměrů o několik nanometrů. Zahřívání polovodičových desek pomocí infračerveného záření musí poskytovat stabilní tepelné profile, bez ohledu na počet cyklů, a to bez uvolňování částic do procesu nebo snižování efektivity provozu.
Co je důležité Používáme moduly pro zahřívání polovodičových desek s krátkovlnnými halogenovými emitery a řízením v uzavřeném okruhu. Díky tomu zůstává rovnoměrnost teploty na úrovni desek na hodnotě ±0,1 °C v celé oblasti zahřevu. Reakce systému je rychlá – během několika sekund – takže tepelné parametry zůstávají stabilní a nemění se. Konstrukce modulů je vhodná pro použití v čistých prostorách třídy 1–100; používají se materiály s nízkou mírou uvolňování plynů a konstrukce je navržena tak, aby se minimalizovalo vznikání částic. Výstupní výkon zůstává stabilní po dobu více než 5 000 hodin, přičemž odchylka intenzity je menší než 5%.
Proč je to důležité v litografii V litografii jde o kontrolu teploty. Metody měkkého a tvrdého zahřevu dosahují cílové teploty rychleji a udržují ji déle, takže tloušťka fotorezistu, rovnoměrnost rozměrů a další parametry zůstávají předvídatelné. Výsledkem jsou lepší distribuce, méně oprav a méně odpadu. Energie spotřebovaná systémem také klesá – systém se zahřívá podle potřeby a rychle chladne, bez nadměrného zahřívání. Modul lze jednoduše integrovat do běžného zařízení na výrobu polovodičů a splňuje mezinárodní normy pro rozhraní a řízení zařízení.
Na co je potřeba myslet při plánování Při instalaci je nutné zajistit shodu mechanických parametrů a elektrických rozhraní zařízení – pečlivě zkontrolujte typ konektorů, napětí a kompatibilitu chladicí kapaliny s vaší platformou. Očekávejte krátké období kalibrace potřebné k nastavení tepelného profilu pro konkrétní typ polovodičových desek. Výstupní výkon je určen pro konkrétní fázi zahřevu, takže velmi vysoké výkony nejsou podporovány. Mějte tento omezení na paměti při plánování – zařízení může fungovat 24/7 při pravidelné preventivní údržbě.