Vakuové IR oproti přínudnému vzduchu: Co skutečně pohybuje „jehlu“?
Pokud v současnosti vybíráte vakuumovou komoru pro práci se polovodiči, v podstatě se rozhodujete mezi způsoby přenosu energie. Mnoho lidí začíná s myšlenkou cirkulace horkého vzduchu. Ale zde je problém: přínudný vzduch funguje na principu konvekce. A ve vakuu? Konvekce prostě přestává fungovat. Nemůžete tlačit vzduch, abyste přenesli teplo, když tam není žádný vzduch k tlačení. Právě zde přichází na řadu IR vyhřívání. Místo toho, aby bojovalo proti vakuu, využívá elektromagnetické záření k přenosu energie přímo na wafer. Skryté náklady spojené s čekáním Vezměte si například hodiny. Při použití horkého vzduchu musíte počkat, než se celá komora nahřeje, než se váš pracovní kus dostane na požadovanou teplotu. Je to zdlouhavé. IR vyhřívače jsou jiné. Dosahují požadované teploty během sekund. Když provádíte složité úpravy a potřebujete rychle měnit teplotu, tento časový rozdíl je obrovský. Přestanete plýtvat minutami na ohřev prázdného prostoru a můžete začít s opravdovou úpravou svých výrobků. Úspora prostoru na podlaze Existuje také fyzický aspekt. IR lampy umožňují udržet malou plochu potřebnou k provozu. Můžete se zbavit objemných ventilátorů a složitých potrubí, která obvykle zaplní prostor vakuumové komory. Obvykle je tyto vyhřívače uspořádány do mřížek. To umožňuje rovnoměrné rozšíření tepla po celém waferu a dává vám větší kontrolu nad tím, kolik tepla dopadne na povrch. Nevýhody (protože vždycky existují) Vysokohustotní IR vyhřívače nejsou magickým řešením. Jsou sice silné, ale ta síla musí někam jít. Pokud správně nezajistíte chlazení vodou, ta radiação začne pronikat do stěn komory. Pokud se to stane, může dojít ke zkreslení geometrie nebo k poškození senzorů. Je to kompromis – odstraníte pomalost vzduchu, ale musíte být mnohem disciplinovanější při řízení tepla. Pro každého, kdo se snaží zvýšit kapacitu své výroby, jsou IR vyhřívače obvykle tou správnou volbou. Odstraní problémy spojené s pomalostí procesu. Přestanete čekat, než se vzduch nahřeje, a můžete okamžitě začít s prací s křemíkem.