V prostředí výroby není termální výkyv prostě tolerancí – jedná se o zásadní omezení. I nepatrný výkyv o jeden stupeň může narušit profil fotorezisty. A pokud se vrstvy CSP nezahřívají rovnoměrně? To způsobuje deformace a snižuje kvalitu výrobku. CSP na úrovni waferu funguje pouze tehdy, když je termická kontrola spolehlivá – teplota musí zůstat v rozmezí pod jedním stupněm v každém okamžiku.
Zde jsou hlavní aspekty, které jsou důležité:
Vytvořili jsme infračervený ohřívač na úrovni waferu na bází krátkovlnných emitorů NIR, nastavených tak, aby odpovídaly tomu, co ve skutečnosti absorbuje fotorezistent a polymerové dielektrikum. Energie putuje přímo do vrstvy, rychle, s minimálním vstupem tepla do substrátu. V aktivní oblasti zůstává rovnoměrnost na úrovni ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost zůstává v rozmezí 0,2 °C během 24 hodin.
Platforma je připravena pro použití v čistých prostorách třídy 1–100. Je navržena tak, aby nevytvářela žádné částice – používají se materiály s nízkým uvolňováním plynů, hermeticky uzavřená kvartová okna a laminární proudění vzduchu, které zabrání kontaminaci procesu. Procesy měkkého zahřívání, tvrdého zahřívání a vulkanizace probíhají pomocí stejného termického systému – jeden ohřívač, více kroků, bez nutnosti opakování procesů.
Proč to výrazně zlepšuje výrobu:
Díky rychlému nastartování a zahřívání se zkracuje doba cyklu. Také se snižuje spotřeba energie – ohřívá se totiž pouze vrstva, nikoliv celý nosič. Kontrola kritických rozměrů fotorezistu se zlepšuje, protože stabilita teploty odstraňuje jednu z obvyklých příčin rozptylu. Vrstvy CSP se zahřívají rovnoměrně, takže se snižují deformace a defekty.
Dlouhodobá spolehlivost je další výhodou. Systém funguje 24/7 bez neočekávaných přerušení. Prediktivní termální monitorování prodlužuje dobu provozu.
Několik praktických poznámek předtím, než začnete s instalací:
Instalace spočívá v přizpůsobení velikosti komory a kontrolě emisivity povrchu waferu – reflexní prvky nebo kovové trasy mohou ovlivnit množství energie, které je absorbováno. Ohřívač musí být nastaven podle typu vrstev a specifikací. Univerzální řešení nefungují.
Plánujte krátký testovací cyklus, abyste určili správné hodnoty a potvrdili rovnoměrnost napříč různými sériemi výrobků. Jakmile provedete kalibraci, proces se stane předvídatelným. A právě tato předvídatelnost je hlavním cílem.