http://industrial-heating-ir.com/de/tags/aschen/ Recent content in Aschen on Industrial IR Heating Solutions Hugo de Sat, 06 Jun 2026 04:13:08 +0800 http://industrial-heating-ir.com/de/posts/ashing-process-heating-infrared/ Sat, 06 Jun 2026 04:13:08 +0800 http://industrial-heating-ir.com/de/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Aufheizprozess Infrarot"></p> <p>Auf dem Fertigungsboden darf das Ätzen nicht als Blackbox behandelt werden. Verbleibender Photoresist nach dem Abtragen verringert die Ausbeute, und wenn das thermische Profil nicht stabil ist, kann ein kompletter Batch ruiniert werden. Infrarot-Ätzen mit gezielter Wärmezufuhr bietet Ihnen jedes Mal ein reproduzierbares thermisches Budget.</p> <p><strong>Was technisch zählt</strong><br> Wir bestrahlen den Photoresist direkt mit kurzwelligen Infrarotstrahlern – schnelle, gekoppelte Wärme, die in den Resist und nicht in den Träger geht. Dadurch bleibt die Ätzfront kontrolliert und die Wafer-Ebenen-Uniformität bei ±0,1°C. Das Gerät ist ausgelegt für Reinraumklasse 1–100: eine hermetisch abgedichtete, emissionsarme Baugruppe und ein <a href="https://henruite.com">thermischer</a> Pfad, der partikelfrei bleibt.<br> Null-Partikel-Generierung ist <a href="https://goldisgood.com">keine</a> Werbeaussage. Sie wird durch Materialauswahl, saubere Montage und ein Design durchgesetzt, das turbulente Luftströmungen vermeidet. Das System hält zudem die Photoreist-Backtemperatur über Softbake- und Hardbake-Profile hinweg präzise und gewährleistet eine Reproduzierbarkeit von Charge zu Charge.</p>