Flexible Display Trocknungslampenfabrik

Mon, 01 Jun 2026 20:32:05 +0800

On der flexiblen Display-Linie ist das Backen des Photoresists kein Nebenschritt. Es ist ein Yield-Gate.
Eine Verschiebung von 1°C beim Softbake oder Hardbake verschiebt die kritische Dimension und verursacht Scumming. Die Trocknungslampe darf keine weitere Variable sein. Sie muss die thermische Konstante darstellen.

Was tatsächlich zählt

Wir haben die Trocknungslampe für flexible Displays auf wiederholbare Wärmezufuhr ausgelegt. Halogenquellen senden kurzwellige Energie an die Oberfläche, was eine schnelle, oberflächengeführte Trocknung ermöglicht. Bei dickeren Filmen oder thermisch empfindlichen Schichtstapeln sind Mittelwellen- und NIR-Konfigurationen verfügbar.
Erwarten Sie ±0,1°C Wafer-Uniformität über die aktive Zone sowie eine Sollwertregelung, die innerhalb von ±0,5°C bleibt, selbst bei Spannungsschwankungen in der Netzversorgung. Das System arbeitet in Class 1–100 Reinräumen ohne Partikelaufwirbelung: versiegelte Quarzgehäuse, emissionsarme Halterungen und ein laminarer Luftstrom, der die Partikelzahl stabil hält.
Die Leistung bleibt über 5.000+ Stunden innerhalb von 2%. Das Lampenmodul lässt sich direkt in Standard-Track-Schnittstellen einbauen, mit 24 V Steuerung und robusten Steckverbindern.

Flexibel on Industrial IR Heating Solutions

Flexible Display Trocknungslampenfabrik

Was tatsächlich zählt