http://industrial-heating-ir.com/de/tags/kammer/ Recent content in Kammer on Industrial IR Heating Solutions Hugo de Tue, 14 Jul 2026 10:39:52 +0800 http://industrial-heating-ir.com/de/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Tue, 14 Jul 2026 10:39:52 +0800 http://industrial-heating-ir.com/de/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Infrarotheizer für Vakuumkammern"></p> <p>Vakuum-IR-Heizung gegen Gebläseheizung: Welche Methode bringt tatsächlich etwas?<br> Wenn Sie derzeit eine Vakuumkammer für die Halbleiterfertigung auswählen, müssen Sie sich entscheiden, wie die Energie übertragen werden soll. Viele beginnen mit der Idee der Verwendung von heißer Luft. Doch das Problem ist: Die Gebläseheizung setzt auf Konvektion – und in einem Vakuum funktioniert diese Methode nicht. Man kann keine Luft nutzen, um Wärme zu übertragen, wenn es keine Luft gibt. Hier kommt die IR-Heizung ins Spiel. Anstatt gegen das Vakuum anzukämpfen, verwendet sie elektromagnetische Strahlung, um Energie direkt auf die Wafer zu übertragen.</p>