http://industrial-heating-ir.com/de/tags/ozon/ Recent content in Ozon on Industrial IR Heating Solutions Hugo de Tue, 23 Jun 2026 00:21:31 +0800 http://industrial-heating-ir.com/de/posts/ozone-free-infrared-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 00:21:31 +0800 http://industrial-heating-ir.com/de/posts/ozone-free-infrared-lamp/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Ozonfreies Infrarotlichtgerät"></p> <p>Auf der Produktionsfläche ist das Verfahren ja bekannt: Ein Abweichung von halben Grad während des Trocknungsprozesses des Photoresists kann dazu führen, dass die kritischen Abmessungen nicht mehr im Rahmen der Spezifikationen <a href="https://o-yate.com">liegen</a> – und somit ganze Chargen verschwendet werden.Thermische Homogenität sowie chemische Reinheit sind keine nur statistischen Werte – sie bestimmen letztendlich, ob ein Produkt erfolgreich hergestellt werden kann oder nicht.</p> <p><strong>Was wirklich wichtig ist</strong> Wir verwenden ozeongefreie Infrarotlampen, die kurzwelliges NIR-Licht ohne jeglichen Ozongehalt abgeben. Dadurch wird die Luftqualität in den Reinräumen nicht beeinträchtigt – auch in Bereichen der Klasse 1–100. Die maximale Strahlungsintensität ist so eingestellt, dass der Photoresist schnell absorbiert wird. Die Homogenität auf der Waferoberfläche bleibt dabei bei ±0,1°C.</p>