http://industrial-heating-ir.com/de/tags/photoresist/ Recent content in Photoresist on Industrial IR Heating Solutions Hugo de Tue, 23 Jun 2026 00:30:19 +0800 http://industrial-heating-ir.com/de/posts/photoresist-baking-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 00:30:19 +0800 http://industrial-heating-ir.com/de/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Photoresist Backofenlampe"></p> <p>In der Lithografie-Bereichssteuerung führt eine Schwankung von 1°C beim Weichen- oder Hartbrennen nicht nur zu Veränderungen in der Linienbreite. Zudem wird die Kontrolle über die CD-Werte beeinträchtigt, der Winkel der Seitenwände ändert sich, und auch die Ausbeute leidet darunter. Die Brennlampen sind somit wie „stille Polizisten“ für die Einhaltung der thermischen Vorgaben im Reinraum.</p> <p>Was technisch wichtig ist:</p> <p>Wir verwenden Brennlampen, die eine Genauigkeit von ±0,1°C auf Waferebene gewährleisten – indem sie kurzwellige Infrarotquellen mit einem aus Quarz bestehenden Wärmeübertragungssystem kombinieren. Die Reproduzierbarkeit der Temperatur bleibt über den gesamten Brennprozess hinweg konstant – von niedrigen Temperaturen beim Weichenbrennen bis zu hohen Temperaturen beim Hartbrennen – ohne Ausreißer.</p>