http://industrial-heating-ir.com/de/tags/pr%C3%BCfung/ Recent content in Prüfung on Industrial IR Heating Solutions Hugo de Fri, 26 Jun 2026 05:19:41 +0800 http://industrial-heating-ir.com/de/posts/energy-audit-for-fab-drying/ Fri, 26 Jun 2026 05:19:41 +0800 http://industrial-heating-ir.com/de/posts/energy-audit-for-fab-drying/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Energieaudit für die Trocknungsanlage"></p> <p>Im Produktionsbereich ist es nicht immer möglich, Probleme im Voraus zu erkennen. Eine geringe Unregelmäßigkeit in der Wärmeverteilung während des Trocknungsprozesses führt dazu, dass mehr Energie verbraucht wird – und somit auch mehr Abfälle entstehen. Bei dem sanften Trocknen sowie nach dem Reinigungsprozess ist eine extrem hohe Stabilität erforderlich. Selbst kleine Hitzepunkte führen zu Defekten auf den Wafern. Ineffizientes Heizen wiederum verschwendet Energie und erschwert die Arbeit im Reinraum.</p> <p><strong>Was wirklich wichtig ist</strong><br> Wir nutzen für das Trocknen Kurzwellen-Infrarotstrahler – dadurch können wir die Wärmeverteilung präzise steuern. Das System hält die Temperatur auf der Waferoberfläche innerhalb von ±0,1°C konstant. Die Wiederholgenauigkeit ist so hoch, dass die kritischen Temperaturen von Charge zu Charge konstant bleiben. Die Reaktionszeit ist kurz, sodass die Trocknungszeit reduziert wird und die Temperatur innerhalb weniger Sekunden auf den gewünschten Wert sinkt. Zudem gibt es eine integrierte Energiemonitoring-Funktion – pro Charge werden Verbrauchswerte, Leistungsentfaltung sowie Temperaturabweichungen aufgezeichnet. Dadurch lässt sich der Energieverbrauch leicht überwachen.</p>