http://industrial-heating-ir.com/de/tags/test/ Recent content in Test on Industrial IR Heating Solutions Hugo de Sat, 27 Jun 2026 05:08:43 +0800 http://industrial-heating-ir.com/de/posts/wafer-burn-in-test-heating-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 05:08:43 +0800 http://industrial-heating-ir.com/de/posts/wafer-burn-in-test-heating-lamp/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Wafer Burn in Test Heizlampe"></p> <p>In der Fertigungshalle zeigen sich die Temperaturschwankungen während des „Burn-in“-Verfahrens oder beim Erhitzen des Photoresists schnell – in Form von Schwankungen in der Breite der Linien sowie einer <a href="https://o-yate.net">abnehmenden</a> Produktivität. Wenn die Profile für das sanfte und hartes Erhitzen nicht strikt eingehalten werden, entstehen nach dem Ätzen Rückstände, und die Fehlerquoten steigen. Wir haben unser Heizsystem für das „Burn-in“-Verfahren so konzipiert, dass diese Unwägbarkeiten ausgeschlossen werden.</p> <p>Das Herzstück dieses Systems ist eine Kurzwellinfrarot-Halogenlampe in einer Quarzkapsel. Sie ermöglicht ein schnelles, gezieltes Heizen mit einer Reaktionszeit von weniger als einer Sekunde. In der gesamten Erhitzungszone bleibt die Homogenität auf demWafer bei ±0,1°C – dadurch erhält der Photoresist in jeder Cycle dieselbe Temperatur. In Reinräumen der Klasse 1–100 wird die Montage ohne jegliche Partikelbildung durchgeführt – dadurch bleiben Maske, Linse und Waferoberfläche sauber.</p>