واکیوم IR در مقابل هوای فشرده: کدام یک واقعاً میتواند انرژی را منتقل کند؟
اگر در حال انتخاب محفظه واکیوم برای کارهای مربوط به نیمههادیها هستید، در واقع در حال انتخاب روشی برای انتقال انرژی هستید.
بسیاری از افراد از روش گردش هوای گرم شروع میکنند؛ اما مشکل اینجاست که روش هوای فشرده به اصطکاک وابسته است. و در وضعیت واکیوم، اصطکاک دیگر کارساز نیست؛ یعنی نمیتوانید هوا را برای انتقال گرما استفاده کنید. در اینجاست که گرمایش با استفاده از تابش الکترومغناطیسی مفید میشود؛ چرا که این روش از وضعیت واکیوم سوءاستفاده نمیکند، بلکه انرژی را مستقیماً به روی ویفر منتقل میکند.
هزینه پنهان انتظار
فکر کنید به زمان لازم برای گرم شدن محفظه؛ در روش هوای گرم، باید صبر کنید تا کل محفظه گرم شود، تا قطعه کار به دمای مورد نظر برسد. این کار بسیار طولانی است.
اما گرمکنهای IR متفاوت هستند؛ آنها در عرض چند ثانیه به دمای مورد نظر میرسند. وقتی که نیاز به پردازش سریع دارید، این تفاوت زمانی بسیار مهم است؛ شما دیگر نیازی ندارید دقایق زمان را صرف گرم کردن فضای خالی کنید، بلکه میتوانید فوراً شروع به پردازش کنید.
صرفهجویی در فضا
از نظر فیزیکی نیز، لامپهای IR به شما اجازه میدهند فضای کمتری را اشغال کنید؛ شما میتوانید از بلواردهای بزرگ و سیستمهای پیچیده برای انتقال هوا استفاده نکنید.
معمولاً این لامپها را در قالب مجموعههایی نصب میکنیم؛ این کار باعث میشود گرما به طور یکنواخت در سراسر ویفر پخش شود، و شما کنترل بیشتری بر میزان گرمای وارد شده به سطح ویفر داشته باشید.
معایب (چون همیشه معایبی وجود دارد)
البته، گرمایش با استفاده از تابش IR نیز راهحل جادویی نیست؛ این روش قدرتمند است، اما این قدرت باید به جایی منتقل شود.
اگر سیستم خنککنندگی آبی را به درستی طراحی نکنید، این تابش میتواند به دیوارههای محفظه نفوذ کند؛ در این صورت، ممکن است ساختار محفظه دچار اختلال شود یا سنسورها آسیب ببینند. این یک تعادل است؛ شما از کندی هوا خلاص میشوید، اما باید بسیار دقت کنید تا گرما را به درستی مدیریت کنید.
برای کسانی که میخواهند بهرهوری خود را افزایش دهند، استفاده از گرمایش IR معمولاً بهترین راه است؛ این روش مانعهای موجود را از بین میبرد. شما دیگر نیازی ندارید منتظر گرم شدن هوا باشید، بلکه میتوانید فوراً شروع به پردازش کنید.