http://industrial-heating-ir.com/fa/tags/%D9%81%D9%88%D8%AA%D9%88%D8%B1%D8%B2%DB%8C%D8%B3%D8%AA/ Recent content in فوتورزیست on Industrial IR Heating Solutions Hugo fa Tue, 23 Jun 2026 00:30:19 +0800 http://industrial-heating-ir.com/fa/posts/photoresist-baking-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 00:30:19 +0800 http://industrial-heating-ir.com/fa/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="لامپ پخت فوتورزیست"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، تغییر ۱ درجه سانتی‌گراد در دمای حرارت‌دهی، نه تنها باعث تغییر عرض خطوط می‌شود، بلکه کنترل کیفیت فیلم نیز مختل می‌گردد؛ همچنین زاویه دیواره‌های فیلم نیز تغییر می‌کند و در نهایت باعث کاهش بازدهی تولید می‌شود. لامپ‌های حرارت‌دهی، در واقع نقش پلیس‌های کنترل دما در اتاق‌های پاک را ایفا می‌کنند.</p> <p>از نظر فنی، موارد مهمی وجود دارد. ما از لامپ‌های حرارت‌دهی استفاده می‌کنیم که با ترکیب منابع اینفرارده‌ی کوتاه‌موج با سیستم حرارتی مبتنی بر کوارتز، می‌توانند یکنواختی دمایی در سطح ویفر را در حد ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد حفظ کنند. قابلیت تکرار این فرآیند در کل محدوده دمایی، از حرارت پایین تا حرارت بالا، بسیار خوب است و هیچ نوسانی وجود ندارد.</p>