http://industrial-heating-ir.com/fa/tags/process/ Recent content in Process on Industrial IR Heating Solutions Hugo fa Sat, 06 Jun 2026 04:13:08 +0800 http://industrial-heating-ir.com/fa/posts/ashing-process-heating-infrared/ Sat, 06 Jun 2026 04:13:08 +0800 http://industrial-heating-ir.com/fa/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="فرآیند داغ کردن با مادون قرمز برای خاکسترگیری"></p> <p>در محیط تولید، نمی‌توان فرآیند <a href="https://henruite.com">ashing</a> را مانند یک جعبه سیاه در نظر گرفت. باقی‌مانده‌های photoresist پس از stripping موجب کاهش راندمان تولید می‌شود و اگر پروفایل حرارتی پایدار نباشد، ممکن است کل یک دسته تولید را از دست بدهید. ashing با مادون قرمز همراه با سیستم گرمایش مهندسی شده، یک بودجه حرارتی قابل تکرار را در هر بار پردازش فراهم می‌کند.</p> <p><strong>از نظر فنی چه نکاتی اهمیت دارد</strong><br> ما مستقیماً با فرستنده‌های موج کوتاه مادون قرمز به photoresist حرارت می‌دهیم—گرمای سریع و کوپل‌شده که وارد رزین می‌شود و نه حامل آن. این روش کنترل جبهه ashing را ممکن می‌سازد و یکنواختی در سطح wafer را در دامنه ±0.1°C حفظ می‌کند. این ابزار برای <a href="https://o-yate.net">Cleanroom</a> Class 1–100 طراحی شده است: یک مجموعه آب‌بندی شده با حداقل گازدهی و مسیر حرارتی که عاری از ذرات باقی می‌ماند.<br> تولید صفر ذره صرفاً یک شعار نیست. این موضوع با انتخاب مواد مناسب، مونتاژ تمیز و طراحی‌ای که از جریان هوای آشفته جلوگیری می‌کند، تحقق می‌یابد. سیستم همچنین دمای bake رزین را در طول پروفایل‌های soft bake و hard bake به دقت کنترل می‌کند و تکرارپذیری آن از دسته‌ای به دسته دیگر حفظ می‌شود.</p>