Lampe de chauffage TEL (Tokyo Electron)

Tue, 02 Jun 2026 06:16:30 +0800

Sur le plancher de fabrication, vous savez comment ça se passe : une cuisson douce qui dérive de seulement deux degrés peut fausser les dimensions critiques et transformer beaucoup de pièces en rebut. L’uniformité de la température sur la tranche n’est pas un « luxe ». C’est une exigence stricte. Les lampes chauffantes TEL fournissent aux cellules de lithographie le contrôle thermique nécessaire, cycle après cycle.

Ce qui compte dans le fonctionnement

Nous concevons la lampe autour d’une émission infrarouge à ondes courtes et d’un design quartz-halogène, optimisé pour transférer rapidement et de manière répétable la chaleur vers le photoresist et le substrat. Sur la surface de cuisson, l’uniformité au niveau de la tranche se maintient à ±0,1°C, et la répétabilité du point de consigne se situe dans la gamme de la milliseconde. Le système s’intègre dans des salles blanches de classes 1 à 100 sans augmenter le nombre de particules ; l’absence totale de génération de particules est vérifiée par un contrôle en ligne pendant la qualification. La puissance reste stable du démarrage jusqu’à plus de 5 000 heures, avec une dérive de sortie maintenue en dessous de 5 % en fonctionnement continu.

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Lampe de chauffage TEL (Tokyo Electron)