Lampe de séchage à affichage flexible fab

Mon, 01 Jun 2026 20:32:05 +0800

Sur la ligne d’affichage flexible, la cuisson du photoresist n’est pas une étape annexe. C’est un point de contrôle clé pour le rendement.
Un décalage de 1°C lors de la cuisson douce ou dure modifie la dimension critique et entraîne des résidus indésirables. La lampe de séchage ne peut pas constituer une variable supplémentaire. Elle doit être la constante thermique.

Ce qui compte vraiment

Nous avons conçu la lampe de séchage pour affichage flexible autour d’une distribution thermique répétable. Les sources halogènes émettent une énergie à courte longueur d’onde à la surface, assurant ainsi un séchage rapide et piloté en surface. Pour les films plus épais ou les empilements thermosensibles, des configurations à moyenne longueur d’onde et NIR sont disponibles.
Attendez-vous à une uniformité au niveau wafer de ±0,1°C sur la zone active, avec un contrôle du point de consigne qui reste dans ±0,5°C même en cas de fluctuations de la tension secteur. Le système fonctionne dans des salles blanches Class 1–100 sans générer de particules : enveloppes en quartz scellées, équipements à faible émission de gaz, et un flux d’air laminaire qui maintient une stabilité du comptage particulaire.
La puissance se maintient dans une tolérance de 2% sur plus de 5 000 heures. Le module lampe s’intègre directement aux interfaces standard de piste, avec un contrôle 24 V et des options de connecteurs robustes.

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Lampe de séchage à affichage flexible fab

Ce qui compte vraiment